[發明專利]一種CCD晶圓絕緣電阻測試裝置

在審

• 申請號: 201710830232.3
• 申請日: 2017-09-15
• 公開（公告）號: CN107817386A
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發明（設計）人: 焦貴忠;徐春葉;孫麗麗;田波;秦盼
• 申請（專利權）人: 北方電子研究院安徽有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標事務所34113
• 代理人: 陳俊

技術領域

本發明涉及微電子測試技術領域，具體是一種CCD晶圓絕緣電阻測試裝置。

背景技術

CCD即電子耦合器件，是探測領域內靈敏度極高的一種光電探測通用產品，可以成像，不受環境限制，在諸多領域應用廣泛。

CCD晶圓的引腳有近10路的脈沖激勵和近10路的直流電源激勵所構成的輸入端，器件工藝結構復雜，工藝加工難度較高，造成晶圓的成品率不高。而且這近20路的輸入端之間，會存在相互之間短路或較小阻抗連接的情況，如果各路引腳間絕緣電阻過小，各通路會互相影響，直接封裝后測試，存在很大的弊端。

另外,CCD特殊管殼特別昂貴，造成封裝成本過高；因近20路的輸入端，電壓信號最低到-6V、最高到+50V，直接在CCD電性能測試系統上測試，極易燒壞測試設備，造成設備故障頻出，維修成本極高。

目前，業界能夠測試絕緣特性的設備有半導體特性分析儀、半導體圖示儀、絕緣電阻測試儀、通用ATE等；這些設備共同特性都是只能進行單通道測量，并且設備價格比較昂貴，國產設備在數萬元，進口設備在數十萬元。

發明內容

本發明的目的在于提供一種CCD晶圓絕緣電阻測試裝置，該測試裝置能夠對各種型號的CCD晶圓進行多通道間絕緣特性測試，成本低、具有很強的通用性。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種CCD晶圓絕緣電阻測試裝置，包括探針臺、矩陣開關模塊、信號采樣電路、信號放大與濾波電路、A/D轉換電路、單片機、直流電源以及上位機；所述探針臺用于承載待測CCD晶圓，探針臺的探針卡用于連接待測CCD晶圓的引腳，矩陣開關模塊通過探針卡與待測CCD晶圓的引腳相連；所述單片機控制矩陣開關模塊中各個開關與待測CCD晶圓引腳通道之間的切換；

矩陣開關模塊包含待測引腳矩陣開關組與加壓矩陣開關組，通過加壓矩陣開關組將直流電源作為激勵施加在待測CCD晶圓引腳通道之間,待測引腳矩陣開關組與信號采樣電路入口相連，信號采樣電路出口依次連接信號放大與濾波電路、A/D轉換電路、單片機與上位機；單片機將收到的測試信號與設定值進行比較，判斷測量通道間的絕緣特性，并將測試結果發送給上位機進行保存與顯示。

本發明的有益效果是，通過矩陣開關模塊可以遍歷CCD晶圓的所有引腳通道，實現多通道間絕緣特性測試，對于不同型號的CCD晶圓，只需更換相匹配的矩陣開關模塊與探針卡即可，測試成品非常低，成套設備千元左右，具有很強的通用性，而且能夠實現自動測試和保存數據等功能。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明：

圖1是本發明的電氣原理框圖。

具體實施方式

如圖1所示，本發明提供一種CCD晶圓絕緣電阻測試裝置，包括探針臺1、矩陣開關模塊4、信號采樣電路6、信號放大與濾波電路7、A/D轉換電路8、單片機9、直流電源5以及上位機10；探針臺1用于承載待測CCD晶圓3，探針臺1的探針卡2用于連接待測CCD晶圓3的引腳，矩陣開關模塊4通過探針卡2與待測CCD晶圓3的引腳相連；單片機9控制矩陣開關模塊4中各個開關與待測CCD晶圓3引腳通道之間的切換；單片機9還對探針臺1進行控制。

矩陣開關模塊4包含加壓矩陣開關組4a與待測引腳矩陣開關組4b，通過加壓矩陣開關組4a將直流電源5作為激勵施加在待測CCD晶圓3引腳通道之間,待測引腳矩陣開關組4b與信號采樣電路6入口相連，信號采樣電路6出口依次連接信號放大與濾波電路7、A/D轉換電路8、單片機9與上位機10。

信號采樣電路6將待測引腳通道反饋的電流信號轉換為電壓信號，電壓信號通過放大與濾波電路7的放大與濾波后發送給A/D轉換電路8，A/D轉換電路8將模擬信號轉換為數字信號發送給單片機9，單片機9將收到的測試信號與設定值進行比較，判斷測量通道間的絕緣特性，并將測試結果發送給上位機10進行保存與顯示。

以上所述，僅是本發明的較佳實施例而已，并非對本發明作任何形式上的限制；任何熟悉本領域的技術人員，在不脫離本發明技術方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術內容對本發明技術方案做出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同替換、等效變化及修飾，均仍屬于本發明技術方案保護的范圍內。