[發明專利]一種軸向電子束槍用偏轉接頭及其使用方法

有效

• 申請號: 201710828486.1
• 申請日: 2017-09-14
• 公開（公告）號: CN107622932B
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 趙文天
• 申請（專利權）人: 寧波鑫利成真空科技有限公司
• 主分類號: H01J37/147
• 分類號: H01J37/147
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種軸向電子束槍用偏轉接頭，包括偏轉管，所述偏轉管上端設有上法蘭，下端設有下法蘭，所述上法蘭外套有偏轉線圈，所述下法蘭外從上到下依次套有聚焦線圈、掃描線圈，所述下法蘭內插有測溫探頭，使用偏轉接頭后，由電子槍射出的電子束被偏轉接頭的偏轉線圈偏轉一個角度后再進入真空爐室，從結構上避免了爐室內各種蒸汽、飛濺物對電子槍內部的直射。使絕大部分蒸汽和飛濺等污染物都沉積在偏轉接頭內壁，從而保護了需要高潔凈環境的電子槍內部，大大提高電子槍工作穩定性。

技術領域

本發明涉及電子束槍技術領域，尤其涉及一種軸向電子束槍用偏轉接頭及其使用方法。

背景技術

現有用于焊接、蒸發以及熔煉用途的各類軸向電子槍，又名電子束槍。從電子產生位置到束流出口幾乎都是直線通道，無論是傳統的熱陰極電子束槍還是較新的冷陰極氣體放電電子束槍。

這種軸向結構的好處是整個電子槍槍結構緊湊，束流方向集中，易于聚焦和掃描。但同時缺點也很明顯。由于電子槍的出口朝向正對真空室，電子槍內部各部件均暴露在爐室環境污染下。在電子槍使用過程中，由于材料加熱而產生的各類金屬和非金屬蒸汽、飛濺物等雜質，也會很容易徑直的進入電子槍內部（直線結構的最大缺點），沉積在電子槍零部件表面，污染槍室，造成高壓絕緣性能降低，引發意外放電，影響電子槍工作穩定性。污染嚴重時飛濺物甚至會落在需要高壓絕緣的間隙，直接造成局部高壓放電，燒毀電子槍內部的部件。因此，如何減少或避免這種蒸發物和飛濺物對電子槍內部的污染就成為提高電子槍工作穩定性的關鍵之一。

現有方法基本上有以下兩種：一種是在電子槍和爐室之間用微量充氣的方法構建一個相對高氣壓區，來對蒸汽形成一定壓力阻滯。這種方法缺點是機構復雜，需要額外很多充氣、抽氣機構，而且控制不好容易影響電子槍工作真空，造成槍內放電。另一種方法是對槍室進行強抽真空，用更高的真空度來吸走蒸汽。這種方法多數采用額外真空泵進行，也存在結構復雜，成本高的缺點。這兩種方法的共同缺點是無論哪種方法，對于大顆粒的飛濺都是無能為力的，而對于蒸汽的蒸鍍，也作用有限。

發明內容

對上述現有技術的現狀，本發明所要解決的技術問題在于提供一種

本發明解決上述技術問題所采用的技術方案為：一種軸向電子束槍用偏轉接頭，包括偏轉管，所述偏轉管上端設有上法蘭，下端設有下法蘭，所述上法蘭外套有偏轉線圈，所述下法蘭外從上到下依次套有聚焦線圈、掃描線圈，所述下法蘭內插有測溫探頭。

進一步地，所述偏轉管與上法蘭之間設有出水口，所述偏轉管與下法蘭之間設有進水口。

進一步地，所述上法蘭上設有電子槍出口法蘭。

進一步地，所述電子槍出口法蘭余所述上法蘭之間設有密封圈。

進一步地，所述下法蘭下端設有爐體電子槍接口。

一種軸向電子束槍用偏轉接頭使用方法，其特征在于，包括如下步驟：

（1）首先調節需要使用偏轉接頭的電子槍的電子束射出方向，使其沿中心射出；

（2）連接電子槍、偏轉接頭和真空爐體，隨后啟動真空系統，將爐體和電子槍抽到工作真空度；

（3）啟動電子槍，調節加速電壓到正常工作值，緩慢增加電子束功率到0.01~0.4kW，逐步增加偏轉接頭的偏轉線圈的電流值（當使用帶測溫裝置的偏轉接頭時，可以測溫數據變化作為電子束是否照射到偏轉接頭側壁的依據。當其溫度上升時，繼續增大偏轉線圈電流，直至其不在增大），同時密切觀察爐室內電子束，直到偏轉接頭出口的電子束從中心射出；

（4）記錄并固定偏轉接頭的偏轉線圈的電流值，在使用過程中同一加速電壓對應同一偏轉電流；

（5）開始正常使用。