[發明專利]一種軸向電子束槍用偏轉接頭及其使用方法

有效

• 申請號: 201710828486.1
• 申請日: 2017-09-14
• 公開（公告）號: CN107622932B
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 趙文天
• 申請（專利權）人: 寧波鑫利成真空科技有限公司
• 主分類號: H01J37/147
• 分類號: H01J37/147
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種軸向電子束槍用偏轉接頭，其特征在于，包括偏轉管，所述偏轉管上端設有上法蘭，下端設有下法蘭，所述上法蘭外套有偏轉線圈，所述下法蘭外從上到下依次套有聚焦線圈、掃描線圈，所述下法蘭內插有測溫探頭，所述偏轉管與上法蘭之間設有出水口，所述偏轉管與下法蘭之間設有進水口。

2.根據權利要求1所述的一種軸向電子束槍用偏轉接頭，其特征在于，所述上法蘭上設有電子槍出口法蘭。

3.根據權利要求2所述的一種軸向電子束槍用偏轉接頭，其特征在于，所述電子槍出口法蘭余所述上法蘭之間設有密封圈。

4.根據權利要求1所述的一種軸向電子束槍用偏轉接頭，其特征在于，所述下法蘭下端設有爐體電子槍接口。

5.一種軸向電子束槍用偏轉接頭使用方法，其特征在于，包括如下步驟：

首先調節需要使用偏轉接頭的電子槍的電子束射出方向，使其沿中心射出；

連接電子槍、偏轉接頭和真空爐體，隨后啟動真空系統，將爐體和電子槍抽到工作真空度；

啟動電子槍，調節加速電壓到正常工作值，緩慢增加電子束功率到0.01 ~ 0.4kW，逐步增加偏轉接頭的偏轉線圈的電流值，當使用帶測溫裝置的偏轉接頭時，可以測溫數據變化作為電子束是否照射到偏轉接頭側壁的依據；當其溫度上升時，繼續增大偏轉線圈電流，直至其不在增大，同時密切觀察爐室內電子束，直到偏轉接頭出口的電子束從中心射出；

記錄并固定偏轉接頭的偏轉線圈的電流值，在使用過程中同一加速電壓對應同一偏轉電流；

開始正常使用。