[發明專利]表面處理裝置

有效

• 申請號: 201710822691.7
• 申請日: 2017-09-13
• 公開（公告）號: CN108004582B
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 內海雅之;谷川正仁
• 申請（專利權）人: 上村工業株式會社
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00;C25D17/02;C25D19/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黃綸偉;劉暢

1.一種表面處理裝置，其具有：

保持部件，其對薄板形狀的處理對象的上部進行保持；

搬送機構，其使所述保持部件移動；

處理液放出部，其對所述保持部件或所述處理對象放出處理液，使處理液流到所述保持部件所保持的所述處理對象的表面；以及

槽體，在該槽體中以實質上完全包覆所述處理液放出部、所述處理對象、所述保持部件和所述搬送機構的周圍的方式至少收納有所述處理液放出部、所述處理對象、所述保持部件和所述搬送機構，

該表面處理裝置的特征在于，

在所述槽體的上部設置有空氣取入口，在槽體的下部設置有空氣排出口，構成為通過從空氣取入口朝向空氣排出口的空氣流，穩定地保持所述薄板形狀的處理對象。

2.一種表面處理裝置，其具有：

槽體連續體，其是將多個槽體連結而成的槽體連結體，在該槽體中以實質上完全包覆處理液放出部、處理對象、保持部件和搬送機構的周圍的方式至少收納有處理液放出部、處理對象、保持部件和搬送機構，在各槽體上設置有使相鄰的槽體連通的連通口；

保持部件，其對薄板形狀的處理對象的上部進行保持；

搬送機構，其使所述保持部件移動，以使所述處理對象經由所述槽體連續體的連通口而在各槽體中移動；以及

處理液放出部，其是設置在各槽體中的處理液放出部，對所述保持部件或所述處理對象放出處理液，使處理液流到所述保持部件所保持的所述處理對象的表面，

該表面處理裝置的特征在于，

所述處理液放出部構成為，不在相鄰的槽體的附近對處理對象放出處理液，使得處理液不會經由所述連通口而飛散到相鄰的槽體中，

在所述槽體的上部設置有空氣取入口，在各槽體的靠近相鄰的槽體的下部設置有空氣排出口，構成為通過從空氣取入口朝向空氣排出口的空氣流來防止經由所述連通口朝向相鄰的槽體飛散處理液。

3.根據權利要求1或2所述的表面處理裝置，其特征在于，

所述空氣取入口設置在比從處理液放出部放出的處理液與處理對象接觸的部位靠上方的位置，

所述空氣排出口設置在比所述處理對象靠下方的位置。

4.根據權利要求1或2所述的表面處理裝置，其特征在于，

所述空氣排出口與用于回收所述處理液的回收口是共用的。

5.根據權利要求1或2所述的表面處理裝置，其特征在于，

該表面處理裝置還具有：

上方支承部件，其從上方對所述保持部件進行支承；

搬送機構，其使所述上方支承部件移動；以及

防護部件，其至少設置在所述搬送機構的下側，

所述上方支承部件經由未設置防護部件的部分對所述保持部件進行支承。

6.根據權利要求5所述的表面處理裝置，其特征在于，

所述防護部件也設置在所述搬送機構的側面。

7.根據權利要求6所述的表面處理裝置，其特征在于，

在被所述防護部件圍繞的部分中充滿了流體，使得所述搬送機構的下側或所述搬送機構的至少一部分浸入到所述流體中。

8.根據權利要求7所述的表面處理裝置，其特征在于，

在被所述防護部件圍繞的部分設置有供水口和排水口以更換流體。

9.根據權利要求7所述的表面處理裝置，其特征在于，

所述搬送機構由不銹鋼、鈦、碳鋼、黃銅或塑料形成。