[發明專利]TFT基板減薄方法

在審

• 申請號: 201710819512.4
• 申請日: 2017-09-12
• 公開（公告）號: CN109485262A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 吳偉
• 申請（專利權）人: 南昌歐菲生物識別技術有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00;G06K9/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

本發明涉及一種TFT基板減薄方法，包括：提供TFT基板；對所述TFT基板的玻璃基板進行蝕刻；判斷所述TFT基板的厚度減到適用于超聲波指紋識別模組的厚度時，停止所述蝕刻操作。該TFT基板減薄方法可以減小TFT基板的厚度，從而滿足超聲波指紋識別模組的需求。

技術領域

本發明涉及指紋識別技術領域，特別是涉及一種TFT基板減薄方法。

背景技術

超聲波指紋識別技術是利用超聲波具有穿透材料的能力，且隨材料的不同產生大小不同的回波(即超聲波到達不同材質表面時，被反射回的超聲波能量及歷經的路程不同)而進行指紋識別的。因此，利用皮膚與空氣對于聲波阻抗的差異，就可以區分指紋嵴與峪所在的位置。超聲波指紋識別技術可以對指紋進行更深入的分析采樣，甚至能滲透到皮膚表面之下識別出指紋獨特的三維特征。而且，由于超聲波具有一定穿透性，因此在手指有少量污垢或潮濕的情況下仍能工作，可以穿透玻璃、鋁、不銹鋼、藍寶石等設備進行識別。因此，超聲波指紋識別技術越來越受到人們的重視。

超聲波指紋識別模組如果要應用于體積較小的設備(例如手機)中，就要考慮超聲波指紋識別模組的體積是否符合設備的需求。因此，如何提供一種能夠減小超聲波指紋識別模組體積的工藝是亟待解決的問題。

發明內容

基于此，有必要針對如何提供一種能夠減小超聲波指紋識別模組體積的工藝的問題，提供一種TFT基板減薄方法。

一種TFT基板減薄方法，包括：

提供TFT基板；

對所述TFT基板的玻璃基板進行蝕刻；

判斷所述TFT基板的厚度減到適用于超聲波指紋識別模組的厚度時，停止所述蝕刻操作。

在其中一個實施例中，所述對所述TFT基板的玻璃基板進行蝕刻的步驟為：

對所述TFT基板的玻璃基板利用化學物質進行蝕刻。具體地，所述化學物質為氫氟酸。

由于利用化學物質進行蝕刻，無需對TFT基板進行物理撞擊等操作，從而可以避免對TFT基板的電路造成損壞。

在其中一個實施例中，所述對所述TFT基板的玻璃基板利用化學物質進行蝕刻的步驟包括：

在所述TFT基板的電路表面覆蓋一層保護膜；所述保護膜用于避免所述電路被所述化學物質蝕刻；

將覆蓋有所述保護膜的TFT基板放置于盛有所述化學物質的裝置中，以使得所述玻璃基板被所述化學物質蝕刻；

并且，在判斷所述TFT基板的厚度減到適用于超聲波指紋識別模組的厚度時，停止所述蝕刻操作之后，所述方法還包括：

將所述保護膜去除。上述蝕刻方法操作簡單，而且具有較快的蝕刻速度。

在其中一個實施例中，所述保護膜為UV膜。

在其中一個實施例中，在所述TFT基板的電路表面覆蓋一層保護膜的步驟之前，所述對所述TFT基板的玻璃基板利用化學物質進行蝕刻的步驟還包括：

在所述TFT基板的電路表面的有效顯示區域貼一層靜電紙。貼上靜電紙后，可以防止在蝕刻完成去除UV膜時，出現UV膜殘留的情況。

在其中一個實施例中，所述將所述保護膜去除的步驟包括：

利用真空平臺將蝕刻完成后的所述TFT基板吸附起來，并使得所述保護膜裸露在外；

利用紫外線對所述保護膜進行照射，并在照射完成后將所述保護膜撕除。由于TFT基板被減薄后，厚度很薄，因此利用真空平臺吸附，可以避免TFT基板發生破碎。