[發明專利]真空內位置反饋裝置

有效

• 申請號: 201710810443.0
• 申請日: 2017-09-11
• 公開（公告）號: CN107544306B
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發明（設計）人: 劉大猛;張晨輝;王婷;雒建斌
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G05B19/04
• 分類號: G05B19/04
• 代理公司: 11127 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 王春光

本發明提供一種真空內位置反饋裝置，其包括：真空腔體，其與電機控制柜電連接；反饋機構，其設于所述真空腔體內，所述反饋機構包括與所述真空腔體的內壁相接的固定座和連接于所述固定座一端的絕緣體，所述絕緣體上通過導電部固設導線的一端，所述導線的另一端與所述電機控制柜電連接；機械傳樣臂，其能滑動的設置在所述固定座上，所述機械傳樣臂能伸出或縮回所述真空腔體，在所述機械傳樣臂滑動至與所述導電部相接觸的狀態下，所述機械傳樣臂縮回至所述真空腔體內，所述固定座、所述導線和所述真空腔體形成導電回路。本發明能在真空環境中準確的反饋機械傳樣臂是否完全縮回。

技術領域

本發明涉及機械領域，具體是一種位置反饋裝置，更具體的是一種真空內位置反饋裝置。

背景技術

高真空和超高真空環境內的傳樣機構是用于在真空環境中傳送樣品的，其通常包括多個機械傳樣臂，為避免各機械傳樣臂相互干擾及提高空間利用率，各機械傳樣臂均是可以在真空環境中進行伸出和縮回的，為保證其完全縮回，需要設置傳樣機構的位置反饋裝置。

目前，機械領域中使用的位置反饋裝置均是通過安裝傳感器實現的，例如安裝壓力傳感器進行位置反饋，其中傳感器是需要兩根以上的信號線，且需要較大的安裝空間，而對于高真空和超高真空環境內的傳樣機構的位置反饋，需較大安裝空間的傳感器勢必會造成成本的增加，而且，真空環境內的位置反饋裝置需要承受≥120℃并超過48小時的高溫烘烤且不影響其功能，但現有的傳感器不能適應該環境且無法達到該要求，且在該環境下，現有的傳感器的材料會釋放氣體，而影響真空環境。

有鑒于上述現有技術存在的問題，本發明人結合相關制造領域多年的設計及使用經驗，提供一種真空內位置反饋裝置，來克服上述缺陷。

發明內容

本發明的目的是提供一種真空內位置反饋裝置，其能在真空環境中準確的反饋機械傳樣臂是否完全縮回。

本發明的上述目的可采用下列技術方案來實現：

本發明提供一種真空內位置反饋裝置，其包括：真空腔體，其與電機控制柜電連接；反饋機構，其設于所述真空腔體內，所述反饋機構包括與所述真空腔體的內壁相接的固定座和連接于所述固定座一端的絕緣體，所述絕緣體上通過導電部固設導線的一端，所述導線的另一端與所述電機控制柜電連接；機械傳樣臂，其能滑動的設置在所述固定座上，所述機械傳樣臂能伸出或縮回所述真空腔體，在所述機械傳樣臂滑動至與所述導電部相接觸的狀態下，所述機械傳樣臂縮回至所述真空腔體內，所述固定座、所述導線和所述真空腔體形成導電回路。

在優選的實施方式中，所述導電部為導電螺釘，所述導線的一端設有扁平狀接頭，所述導電螺釘穿過所述導線的扁平狀接頭并螺接于所述絕緣體。

在優選的實施方式中，所述導線的扁平狀接頭上設有供所述導電螺釘穿設的開孔，所述開孔的直徑小于所述導電螺釘的端部的直徑。

在優選的實施方式中，所述固定座上設有滑槽，所述機械傳樣臂的底部設有滾輪，所述機械傳樣臂通過所述滾輪能滑動于所述固定座的滑槽內。

在優選的實施方式中，所述機械傳樣臂的滾輪與電機電連接，所述電機與所述電機控制柜電連接。

在優選的實施方式中，所述機械傳樣臂的端面設有彈片，所述機械傳樣臂通過所述彈片與所述導電部相接觸。

在優選的實施方式中，所述機械傳樣臂的端面為平面，所述彈片通過多個螺釘固設于所述機械傳樣臂的端面。

在優選的實施方式中，所述彈片具有伸出所述機械傳樣臂的端面的延伸部，所述機械傳樣臂通過所述彈片的延伸部與所述導電部相接觸。

在優選的實施方式中，所述固定座的一端設有凹槽，所述絕緣體固設于所述固定座的凹槽內，所述絕緣體的上表面與所述固定座的上表面共面。

在優選的實施方式中，所述絕緣體通過多個絕緣螺釘固設于所述固定座的凹槽內。