[發明專利]真空內位置反饋裝置

有效

• 申請號: 201710810443.0
• 申請日: 2017-09-11
• 公開（公告）號: CN107544306B
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發明（設計）人: 劉大猛;張晨輝;王婷;雒建斌
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G05B19/04
• 分類號: G05B19/04
• 代理公司: 11127 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 王春光

1.一種真空內位置反饋裝置，其特征在于，所述真空內位置反饋裝置包括：

真空腔體，其與電機控制柜電連接；

反饋機構，其設于所述真空腔體內，所述反饋機構包括與所述真空腔體的內壁相接的固定座和連接于所述固定座一端的絕緣體，所述絕緣體上通過導電部固設導線的一端，所述導線的另一端與所述電機控制柜電連接；

機械傳樣臂，其能滑動的設置在所述固定座上，所述機械傳樣臂能伸出或縮回所述真空腔體，在所述機械傳樣臂滑動至與所述導電部相接觸的狀態下，所述機械傳樣臂縮回至所述真空腔體內，所述固定座、所述導線和所述真空腔體形成導電回路。

2.根據權利要求1所述的真空內位置反饋裝置，其特征在于，所述導電部為導電螺釘，所述導線的一端設有扁平狀接頭，所述導電螺釘穿過所述導線的扁平狀接頭并螺接于所述絕緣體。

3.根據權利要求2所述的真空內位置反饋裝置，其特征在于，所述導線的扁平狀接頭上設有供所述導電螺釘穿設的開孔，所述開孔的直徑小于所述導電螺釘的端部的直徑。

4.根據權利要求1所述的真空內位置反饋裝置，其特征在于，所述固定座上設有滑槽，所述機械傳樣臂的底部設有滾輪，所述機械傳樣臂通過所述滾輪能滑動于所述固定座的滑槽內。

5.根據權利要求4所述的真空內位置反饋裝置，其特征在于，所述機械傳樣臂的滾輪與電機電連接，所述電機與所述電機控制柜電連接。

6.根據權利要求1所述的真空內位置反饋裝置，其特征在于，所述機械傳樣臂的端面設有彈片，所述機械傳樣臂通過所述彈片與所述導電部相接觸。

7.根據權利要求6所述的真空內位置反饋裝置，其特征在于，所述機械傳樣臂的端面為平面，所述彈片通過多個螺釘固設于所述機械傳樣臂的端面。

8.根據權利要求6所述的真空內位置反饋裝置，其特征在于，所述彈片具有伸出所述機械傳樣臂的端面的延伸部，所述機械傳樣臂通過所述彈片的延伸部與所述導電部相接觸。

9.根據權利要求1所述的真空內位置反饋裝置，其特征在于，所述固定座的一端設有凹槽，所述絕緣體固設于所述固定座的凹槽內，所述絕緣體的上表面與所述固定座的上表面共面。

10.根據權利要求9所述的真空內位置反饋裝置，其特征在于，所述絕緣體通過多個絕緣螺釘固設于所述固定座的凹槽內。