[發(fā)明專利]一種利于均勻腐蝕的挖溝槽槽體

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• 申請日: 2017-09-08
• 公開（公告）號: CN109473375A
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發(fā)明（設計）人: 齊風;甄輝;王彥君;孫晨光;徐長坡;陳澄;梁效峰;楊玉聰;王曉捧;王宏宇;徐艷超
• 申請（專利權）人: 天津環(huán)鑫科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種利于均勻腐蝕的挖溝槽槽體，包括藥液槽，其特征在于：所述藥液槽內部設有旋轉裝置；所述藥液槽底部設有藥液槽進液系統(tǒng)(3)；所述藥液槽外部設有循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)，所述循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)的進口與所述藥液槽連接；所述循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)的出口與循環(huán)泵浦(7)連接，所述循環(huán)泵浦(7)與所述藥液槽進液系統(tǒng)(3)連接；所述循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)與設置在所述藥液槽旁邊的冷水機組(4)冷卻連接。

2.根據(jù)權利要求1所述利于均勻腐蝕的挖溝槽槽體，其特征在于：所述循環(huán)泵浦(7)與所述藥液槽進液系統(tǒng)(3)之間設有循環(huán)過濾器(5)。

3.根據(jù)權利要求1所述利于均勻腐蝕的挖溝槽槽體，其特征在于：所述循環(huán)冷卻系統(tǒng)(6)包括一個冷卻槽；所述冷卻槽與所述藥液槽相連；所述冷卻槽內均勻設有冷水管路，所述冷水管路的進口和出口均與所述冷水機組(4)相連。

4.根據(jù)權利要求1-3任一所述利于均勻腐蝕的挖溝槽槽體，其特征在于：所述藥液槽進液系統(tǒng)(3)的頂部設有均勻的進液孔。

5.根據(jù)權利要求1所述利于均勻腐蝕的挖溝槽槽體，其特征在于：所述藥液槽的四周內壁上設有藥液槽冷卻系統(tǒng)(2)，所述藥液槽冷卻系統(tǒng)(2)與所述冷水機組(4)相連。

6.根據(jù)權利要求6所述利于均勻腐蝕的挖溝槽槽體，其特征在于：所述藥液槽冷卻系統(tǒng)(2)包括若干冷卻盤，所述冷卻盤由冷卻盤管路構成，所述冷卻盤管路的入口和出口均與所述冷水機組(4)相連。

7.根據(jù)權利要求1所述利于均勻腐蝕的挖溝槽槽體，其特征在于：所述旋轉裝置包括分別設置在所述藥液槽底部兩端的固定架，所述固定架的內側均設有翻轉支座(15)；所述固定架上均設有傳動機構，所述傳動機構與對應的所述翻轉支座(15)固定連接；所述藥液槽兩端的側壁外部均設有滾動調速馬達(11)，所述滾動調速馬達(11)與對應的所述傳動機構傳動連接；所述翻轉支座(15)的兩端分別設有鎖緊機構。

8.根據(jù)權利要求7所述利于均勻腐蝕的挖溝槽槽體，其特征在于：所述固定架包括垂直設置的第一固定架(19)和第二固定架(20)；所述第一固定架(19)設于所述第二固定架(20)的外側；所述藥液槽側壁上設有過孔，所述滾動調速馬達(11)的轉軸穿過所述過孔后與電機端齒輪(10)固定連接；所述第一固定架(19)上設有第一過孔；所述第一過孔的外側設有第一傳動齒輪(14)，內側設有第二傳動齒輪(16)；所述第一傳動齒輪(14)和所述第二傳動齒輪(16)通過所述第一過孔固定連接；所述第一傳動齒輪(14)與所述電機端齒輪(10)通過傳動皮帶(12)連接；所述第二固定架(20)上設有第二過孔；所述第二過孔的外側設有支座端齒輪(13)，內側設有連接板；所述連接板與所述支座端齒輪(13)通過所述第二過孔固定連接，所述連接板的底端與所述翻轉支座(15)固定連接；所述支座端齒輪(13)與所述第二傳動齒輪(16)相互嚙合。

9.根據(jù)權利要求7所述利于均勻腐蝕的挖溝槽槽體，其特征在于：所述鎖緊機構包括滑動設置在所述翻轉支座(15)上的滑動桿，所述滑動桿的下端設有滑塊；所述滑塊置于設置在所述翻轉支座(15)上的滑條(17)內；所述滑塊與所述滑條(17)之間為高摩擦力滑動；所述滑動桿的上端與鎖緊撥鈕(9)連接；所述槽體兩端的滑動桿之間設有若干鎖緊桿。

10.根據(jù)權利要求9所述利于均勻腐蝕的挖溝槽槽體，其特征在于：所述高摩擦力滑動的具體結構為所述滑塊與所述滑條(17)的內壁壓緊設置。