[發(fā)明專(zhuān)利]靶材組件的焊接方法及焊接裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710801640.6
• 申請(qǐng)日: 2017-09-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109465514B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;羅明浩;李健成
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B23K1/00
• 分類(lèi)號(hào): B23K1/00;B23K3/00;B23K3/08
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 徐文欣;吳敏

1.一種靶材組件的焊接方法，其特征在于，包括：

提供靶材、背板、載板、第一基臺(tái)和第二基臺(tái)，第一基臺(tái)中具有加熱裝置；

將靶材、背板和載板置于第一基臺(tái)表面后，采用所述加熱裝置預(yù)熱靶材、背板和載板至焊接溫度；

將預(yù)熱后的背板或靶材置于預(yù)熱后的載板上后，將載板、以及載板上的背板或靶材移至第二基臺(tái)上；

將載板、以及載板上的背板或靶材移至第二基臺(tái)上后，在載板上的背板或靶材表面涂布熔融的焊料層，焊接溫度大于焊料層的熔點(diǎn)；

將靶材和背板通過(guò)焊料層壓合在一起后，進(jìn)行冷卻處理，使焊料層凝固。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，將預(yù)熱后的背板置于預(yù)熱后的載板上后，將載板、以及載板上的背板移至第二基臺(tái)上；將載板、以及載板上的背板移至第二基臺(tái)上后，在載板上的背板表面涂布熔融的焊料層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材具有第一焊面；所述背板具有相對(duì)的背板底面和第二焊面；將預(yù)熱后的背板置于預(yù)熱后的載板上后，背板底面與載板相對(duì)設(shè)置；在載板上背板的第二焊面涂布熔融的焊料層；將靶材的第一焊面和背板的第二焊面通過(guò)焊料層壓合在一起。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，將預(yù)熱后的靶材置于預(yù)熱后的載板上后，將載板、以及載板上的靶材移至第二基臺(tái)上；將載板、以及載板上的靶材移至第二基臺(tái)上后，在載板上的靶材表面涂布熔融的焊料層。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材具有相對(duì)的濺射面和第一焊面；所述背板具有第二焊面；將預(yù)熱后的靶材置于預(yù)熱后的載板上后，濺射面與載板相對(duì)設(shè)置；在載板上靶材的第一焊面涂布熔融的焊料層；將靶材的第一焊面和背板的第二焊面通過(guò)焊料層壓合在一起。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述焊料層的材料為銦或錫。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，采用移位裝置將載板、以及載板上的背板或靶材移至第二基臺(tái)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述載板的邊緣區(qū)域設(shè)置有若干吊環(huán)；所述移位裝置為起吊裝置；采用起吊裝置通過(guò)吊環(huán)將載板、以及載板上的背板或靶材移至第二基臺(tái)上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述起吊裝置包括行車(chē)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述載板為條狀結(jié)構(gòu)；所述載板具有載板接觸面，所述載板接觸面用于和背板或靶材接觸；所述吊環(huán)分別位于載板接觸面的頂角處。

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述移位裝置為叉車(chē)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述載板的材料為鋼或鐵。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述焊接溫度與焊料層的熔點(diǎn)之差為30攝氏度～50攝氏度。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材包括LCD靶材，所述LCD靶材用于濺射成膜，以形成液晶顯示器中的導(dǎo)電材料。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材為銅靶材或鉬靶材；所述背板為銅背板或鋁背板。