[發明專利]靶材組件的焊接方法及焊接裝置

有效

• 申請號: 201710801640.6
• 申請日: 2017-09-07
• 公開（公告）號: CN109465514B
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;羅明浩;李健成
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23K1/00
• 分類號: B23K1/00;B23K3/00;B23K3/08
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 徐文欣;吳敏

1.一種靶材組件的焊接方法，其特征在于，包括：

提供靶材、背板、載板、第一基臺和第二基臺，第一基臺中具有加熱裝置；

將靶材、背板和載板置于第一基臺表面后，采用所述加熱裝置預熱靶材、背板和載板至焊接溫度；

將預熱后的背板或靶材置于預熱后的載板上后，將載板、以及載板上的背板或靶材移至第二基臺上；

將載板、以及載板上的背板或靶材移至第二基臺上后，在載板上的背板或靶材表面涂布熔融的焊料層，焊接溫度大于焊料層的熔點；

將靶材和背板通過焊料層壓合在一起后，進行冷卻處理，使焊料層凝固。

2.根據權利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，將預熱后的背板置于預熱后的載板上后，將載板、以及載板上的背板移至第二基臺上；將載板、以及載板上的背板移至第二基臺上后，在載板上的背板表面涂布熔融的焊料層。

3.根據權利要求2所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材具有第一焊面；所述背板具有相對的背板底面和第二焊面；將預熱后的背板置于預熱后的載板上后，背板底面與載板相對設置；在載板上背板的第二焊面涂布熔融的焊料層；將靶材的第一焊面和背板的第二焊面通過焊料層壓合在一起。

4.根據權利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，將預熱后的靶材置于預熱后的載板上后，將載板、以及載板上的靶材移至第二基臺上；將載板、以及載板上的靶材移至第二基臺上后，在載板上的靶材表面涂布熔融的焊料層。

5.根據權利要求4所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材具有相對的濺射面和第一焊面；所述背板具有第二焊面；將預熱后的靶材置于預熱后的載板上后，濺射面與載板相對設置；在載板上靶材的第一焊面涂布熔融的焊料層；將靶材的第一焊面和背板的第二焊面通過焊料層壓合在一起。

6.根據權利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述焊料層的材料為銦或錫。

7.根據權利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，采用移位裝置將載板、以及載板上的背板或靶材移至第二基臺上。

8.根據權利要求7所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述載板的邊緣區域設置有若干吊環；所述移位裝置為起吊裝置；采用起吊裝置通過吊環將載板、以及載板上的背板或靶材移至第二基臺上。

9.根據權利要求8所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述起吊裝置包括行車。

10.根據權利要求8所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述載板為條狀結構；所述載板具有載板接觸面，所述載板接觸面用于和背板或靶材接觸；所述吊環分別位于載板接觸面的頂角處。

11.根據權利要求7所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述移位裝置為叉車。

12.根據權利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述載板的材料為鋼或鐵。

13.根據權利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述焊接溫度與焊料層的熔點之差為30攝氏度～50攝氏度。

14.根據權利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材包括LCD靶材，所述LCD靶材用于濺射成膜，以形成液晶顯示器中的導電材料。

15.根據權利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材為銅靶材或鉬靶材；所述背板為銅背板或鋁背板。