[發明專利]電介質阻擋放電離子化檢測器

有效

• 申請號: 201710798481.9
• 申請日: 2017-09-07
• 公開（公告）號: CN107807194B
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發明（設計）人: 品田惠
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01N30/64
• 分類號: G01N30/64
• 代理公司: 上海立群專利代理事務所(普通合伙) 31291
• 代理人: 毛立群;楊楷

提供能夠穩定地實現高SN比的電介質阻擋放電離子化檢測器(BID)。在電介質圓筒管(111)的外周圍繞設置了高壓電極(112)、上游側接地電極(113)、下游側接地電極(114)而構成的BID中，設置加熱器(131)，對電介質圓筒管(111)或者設置于其上端的管路前端部件(116)進行加熱。通過該加熱器(131)使電介質圓筒管(111)的溫度升高，由此能夠使放電穩定化從而降低噪聲，實現高SN比。

技術領域

本發明涉及一種電介質阻擋放電離子化檢測器，主要優選作為氣相色譜儀(GC)用的檢測器。

背景技術

近年來，將利用了由電介質阻擋放電等離子體實現的離子化的電介質阻擋放電離子化檢測器(Dielectric Barrier Discharge Ionization Detector，以下簡稱為“BID”)實際用作GC用的新的檢測器(參照專利文獻1、2以及非專利文獻1等)。

上述文獻所述的BID大致由放電部與設置在其下方的電荷收集部構成。在放電部中，通過將低頻的交流高電壓施加至多個等離子體生成用電極，使被供給至該電介質管的管路內的惰性氣體(等離子體生成氣體)電離而形成大氣壓非平衡等離子體，所述等離子體生成用電極被圍繞設置于由石英玻璃等的電介質構成的管(電介質管)的外壁。而且，通過從該等離子體發出的光(真空紫外光)或激發物等的作用，使被導入至電荷收集部內的試料氣體中的試料成分離子化，并通過設置于電荷收集部內的收集電極收集生成的該離子，生成與離子的量即試料成分的量相對應的檢測信號。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2010-60354號公報

專利文獻2：國際公開第2012/169419號公報

專利文獻3：日本特開2013-125022號公報

非專利文獻

非專利文獻1：品田等5人、“應用了電介質阻擋放電的氣相色譜儀用新離子化檢測器的開發”、《島津評論》、第69卷、第3·4期、2013年3月29日發行

發明內容

發明要解決的技術問題

在如上述那樣地將等離子體生成用電極圍繞設置于電介質管的外壁而構成的BID中，因為電介質管的壁面存在于等離子體生成用電極與等離子體生成氣體的流路之間，所以電介質即該壁面本身作為包覆各等離子體生成用電極的表面的電介質包覆層起作用，能夠進行電介質阻擋放電。在電介質阻擋放電中，等離子體生成用電極的表面為被電介質覆蓋的狀態，由此抑制來自金屬電極表面的熱電子或二次電子的放出。此外，通過電介質阻擋放電產生的是包含低溫的中性氣體的非平衡等離子體，所以能夠抑制放電部的溫度變動等的等離子體的變動因素。其結果是因為能夠在BID中穩定地維持等離子體，所以能夠實現比作為GC用檢測器而最常使用的火焰離子化型檢測器(Flame Ionization Detector,FID)高的SN比。

但是，在上述以往的BID中，存在噪聲因測量條件而增大的情況，在SN比這一點上還存在改善的余地。

本發明是鑒于上述這樣的問題點而提出的，其目的在于提供能夠穩定地實現高SN比的BID。

用于解決上述技術問題的方案

本發明人為解決上述技術問題反復進行銳意研究，結果發現通過對放電部進行加熱而改善BID的SN比，從而完成了本發明。

即，為了解決上述技術問題而完成的本發明的電介質阻擋放電離子化檢測器，其特征在于，具備：

a)第1氣體流路，具備等離子體生成氣體在其內部流動的電介質管；