[發(fā)明專利]電介質(zhì)阻擋放電離子化檢測(cè)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710798481.9
• 申請(qǐng)日: 2017-09-07
• 公開（公告）號(hào): CN107807194B
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 品田惠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社島津制作所
• 主分類號(hào): G01N30/64
• 分類號(hào): G01N30/64
• 代理公司: 上海立群專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31291
• 代理人: 毛立群;楊楷

1.一種電介質(zhì)阻擋放電離子化檢測(cè)器，具有：

a)第1氣體流路，具備等離子體生成氣體在其內(nèi)部流動(dòng)的電介質(zhì)管；

b)等離子體生成用電極，設(shè)于所述電介質(zhì)管上，通過低頻交流電場(chǎng)在所述第1氣體流路中產(chǎn)生電介質(zhì)阻擋放電，并通過該放電從所述等離子體生成氣體生成等離子體；

c)第2氣體流路，連通于所述第1氣體流路的下游；

d)試料氣體導(dǎo)入裝置，將試料氣體導(dǎo)入至所述第2氣體流路中；

e)電流檢測(cè)裝置，檢測(cè)在所述第2氣體流路中基于所述等離子體的作用而被離子化的所述試料氣體中試料成分的離子電流；

f)加熱裝置，以覆蓋所述電介質(zhì)管和所述等離子體生成用電極的方式來配置，構(gòu)成為對(duì)所述電介質(zhì)管和所述等離子體生成用電極進(jìn)行加熱。

2.如權(quán)利要求1所述的電介質(zhì)阻擋放電離子化檢測(cè)器，其特征在于，還具有：

g)溫度控制裝置，對(duì)所述加熱裝置進(jìn)行控制，使所述第1氣體流路為80℃～130℃。

3.如權(quán)利要求1或2所述的電介質(zhì)阻擋放電離子化檢測(cè)器，其特征在于，所述等離子體生成氣體為氬氣。