[發明專利]一種量測機點位自動補正方法及裝置

有效

• 申請號: 201710797166.4
• 申請日: 2017-09-06
• 公開（公告）號: CN107621245B
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發明（設計）人: 葉巧云
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01B21/04
• 分類號: G01B21/04
• 代理公司: 44304 深圳市銘粵知識產權代理有限公司
• 代理人: 孫偉峰

本發明提供了一種量測機點位自動補正方法及裝置。所述方法包括：使待測產品進入量測機機臺；調用產品參數文件，以量測產品；完成產品量測，以獲取最新點位信息；判定點位差異是否滿足補正條件；以及如果點位差異滿足補正條件，則備份參數文件并且補正點位信息；如果點位差異不滿足補正條件，則使產品退出量測機機臺。

技術領域

本發明涉及測量技術領域，具體地涉及一種量測機點位自動補正方法及裝置。

背景技術

量測點位是量測機臺能夠正確量測以獲取數據的關鍵。量測點位即量測的坐標信息，包括至少X、Y、Z三個移動軸的信息。量測點位會隨著時間而變化，因為機構、制程等變化因素的影響，會出現坐標偏移的情況，坐標偏移的情況會導致量測時間延長，甚至會導致量測錯誤，提供錯誤的參數文件監控信息，導致產品異常。

目前主流的點位補正技術依賴于人員手動校正，屬于純手動或半自動狀態，沒有實現全自動化。圖1示出目前實現點位補正的流程圖。如圖1所示，在確認需要進行點位補正時，首先需要制造借機、借物料，即因為點位補正需要時間，所以需要借用機臺，而機臺被借用則不能監控產品的品質，并且需要確認點位校正的效果，所以需要借用物料來確認效果。在物料進入機臺后，手動確認每點變異，更新點位信息并且保存參數文件(recipe)，開始自動量測并且確認點位信息是否正確，如果不正確，則更新點位信息并且保存參數文件，如果正確，則完成手動補正，其中參數文件是用于監控產品品質的文件，其包含量測點位等信息。

依賴于操作人員手動校正的點位補正技術存在以下缺陷：

1)操作人員需要停機確認點位差異后進行補正，此期間設備不可使用，無法獲得參數文件監控數據。

2)操作人員需要花費時間去確認點位變化量，重新校正點位。

3)操作人員會出現點位補正錯誤，引發監控異常。

因此，需要一種自動補正量測機點位的技術。

發明內容

鑒于以上問題，本發明提供了一種量測機點位自動補正方法，包括：

使待測產品進入量測機機臺；

調用產品參數文件，以量測產品；

完成產品量測，以獲取最新點位信息；

判定點位差異是否滿足補正條件；以及

如果點位差異滿足補正條件，則備份參數文件并且補正點位信息；如果點位差異不滿足補正條件，則使產品退出量測機機臺。

在一實施例中，完成產品量測以獲取最新點位信息包括：

獲取產品的幾何特征的點位信息。

在一實施例中，判定點位差異是否滿足補正條件包括：

判定產品的幾何特征的點位信息的差異是否大于閾值。

在一實施例中，所述產品的幾何特征包括產品在所述量測機的一個軸向方向上的兩個邊。

在一實施例中，判定產品的幾何特征的點位信息的差異是否滿足補正條件包括：

判定所述兩個邊中的至少一個邊的當前點位信息與前次點位信息之間的差異是否大于閾值。

本發明還提供了一種量測機點位自動補正裝置，包括：

點位信息獲取模塊，用于在量測機量測產品時獲取最新點位信息；

判定模塊，用于判定點位差異是否滿足補正條件；以及

補正模塊，用于在點位差異滿足補正條件時補正點位信息，以及在點位差異不滿足補正條件時，則通知產品退出量測機機臺。