[發(fā)明專利]一種量測機(jī)點(diǎn)位自動(dòng)補(bǔ)正方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710797166.4
• 申請日: 2017-09-06
• 公開（公告）號(hào): CN107621245B
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉巧云
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/04
• 分類號(hào): G01B21/04
• 代理公司: 44304 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 孫偉峰

1.一種量測機(jī)點(diǎn)位自動(dòng)補(bǔ)正方法，其特征在于，包括：

使待測產(chǎn)品進(jìn)入量測機(jī)機(jī)臺(tái)；

調(diào)用產(chǎn)品參數(shù)文件，以量測產(chǎn)品；

完成產(chǎn)品量測，以獲取最新點(diǎn)位信息，所述獲取的最新點(diǎn)位信息包括產(chǎn)品的幾何特征的點(diǎn)位信息，所述產(chǎn)品的幾何特征包括產(chǎn)品在所述量測機(jī)的一個(gè)軸向方向上的兩個(gè)邊；

判定點(diǎn)位差異是否滿足補(bǔ)正條件；其中判定點(diǎn)位差異是否滿足補(bǔ)正條件包括：判定產(chǎn)品的幾何特征的點(diǎn)位信息的差異是否大于閾值；判定產(chǎn)品的幾何特征的點(diǎn)位信息的差異是否滿足補(bǔ)正條件包括：判定所述兩個(gè)邊中的至少一個(gè)邊的當(dāng)前點(diǎn)位信息與前次點(diǎn)位信息之間的差異是否大于閾值；以及

如果點(diǎn)位差異滿足補(bǔ)正條件，則備份參數(shù)文件并且補(bǔ)正點(diǎn)位信息；如果點(diǎn)位差異不滿足補(bǔ)正條件，則使產(chǎn)品退出量測機(jī)機(jī)臺(tái)。

2.一種量測機(jī)點(diǎn)位自動(dòng)補(bǔ)正裝置，其特征在于，包括：

點(diǎn)位信息獲取模塊，用于在量測機(jī)量測產(chǎn)品時(shí)獲取最新點(diǎn)位信息，所述點(diǎn)位信息獲取模塊具體用于在量測機(jī)量測產(chǎn)品時(shí)獲取產(chǎn)品的幾何特征的點(diǎn)位信息，所述產(chǎn)品的幾何特征包括產(chǎn)品在所述量測機(jī)的一個(gè)軸向方向上的兩個(gè)邊；

判定模塊，用于判定點(diǎn)位差異是否滿足補(bǔ)正條件，所述判定模塊具體用于判定產(chǎn)品的幾何特征的點(diǎn)位信息的差異是否大于閾值；所述判定模塊具體用于：判定所述兩個(gè)邊中的至少一個(gè)邊的當(dāng)前點(diǎn)位信息與前次點(diǎn)位信息之間的差異是否大于閾值；以及

補(bǔ)正模塊，用于在點(diǎn)位差異滿足補(bǔ)正條件時(shí)補(bǔ)正點(diǎn)位信息，以及在點(diǎn)位差異不滿足補(bǔ)正條件時(shí)，則通知產(chǎn)品退出量測機(jī)機(jī)臺(tái)。