[發(fā)明專利]蓋板及顯影設(shè)備

在審

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• 申請日: 2017-09-05
• 公開（公告）號: CN107479340A
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 元文強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,熊永強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯影技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種蓋板及顯影設(shè)備。

背景技術(shù)

液晶面板的制造過程中，常需使用光刻技術(shù)在所述基板上形成圖案。現(xiàn)代光刻技術(shù)中，其主要操作為先由涂布設(shè)備涂布光刻膠，再由曝光機(jī)將圖案曝光，然后由顯影設(shè)備將曝光后的光阻顯影掉，保留需要的圖案。現(xiàn)有顯影設(shè)備包括頂蓋，所述頂蓋主要作為觀察及維護(hù)保養(yǎng)的窗口。然而，由于顯影設(shè)備內(nèi)部濕度較大，長時間運(yùn)行后，容易在內(nèi)壁霧化凝結(jié)，產(chǎn)生較大液滴。尤其是頂蓋部位，由于顯影設(shè)備內(nèi)部有向上噴淋顯影液/水等的噴淋頭，會導(dǎo)致頂蓋內(nèi)部有小液滴，并在較長時間后融合為較大液滴。長時間運(yùn)行之后，頂蓋內(nèi)表面液滴很容易在重力作用下直接滴落，從而污染基板，造成顯影效果不均勻，影響產(chǎn)品良率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種蓋板及顯影設(shè)備，能夠使蓋板上的液滴能夠流動至所述蓋板的邊緣再滴落，從而防止所述液滴直接滴落至基板上，從而提高產(chǎn)品的良率。

本發(fā)明提供一種顯影設(shè)備的蓋板，所述蓋板包括第一端面、與第一端面相對的第二端面及連接第一端面和第二端面的表面，所述蓋板的表面凸設(shè)有多條間隔設(shè)置的導(dǎo)液條，所述導(dǎo)液條從所述蓋板的第一端面朝向與所述第一端面相對的第二端面延伸，用于導(dǎo)流顯影設(shè)備內(nèi)沉積在蓋板表面的液滴。

其中，相鄰的兩條所述導(dǎo)液條之間設(shè)有凹槽，且所述凹槽與同其相鄰的兩條所述導(dǎo)液條之間光滑連接。

其中，所述導(dǎo)液條的外表面及所述凹槽的內(nèi)表面為弧面，且所述弧面垂直于所述導(dǎo)液條延伸方向的截面呈半圓形或呈拋物線形，或者，所述導(dǎo)液條的外表面及所述凹槽的內(nèi)表面垂直于所述導(dǎo)液條延伸方向的截面呈V型。

本發(fā)明還提供一種顯影設(shè)備，用于對放入其中的待顯影物進(jìn)行顯影，包括顯影腔室及蓋板，所述蓋板蓋設(shè)于所述顯影腔室上并相對于水平面傾斜，所述蓋板包括第一端面、與第一端面相對的第二端面及連接第一端面和第二端面的表面，所述蓋板朝向所述顯影腔室的表面凸設(shè)有多條間隔設(shè)置的導(dǎo)液條，所述導(dǎo)液條沿所述蓋板的傾斜方向上的第一端面朝向與所述第一端面相對的第二端面延伸，以使所述蓋板上沉積的液體從所述蓋板的第一端面導(dǎo)向所述第二端面，所述導(dǎo)液條朝向所述顯影腔室的外表面為外凸面。

其中，相鄰的兩條所述導(dǎo)液條之間設(shè)有凹槽，且所述凹槽與所述導(dǎo)液條之間光滑連接。

其中，所述導(dǎo)液條的外表面及所述凹槽的內(nèi)表面為弧面，且所述弧面垂直于所述蓋板傾斜方向的截面呈半圓形或拋物線形。

其中，所述導(dǎo)液條的外表面及所述凹槽的內(nèi)表面垂直于所述蓋板傾斜方向的截面呈V型。

其中，所述顯影腔室的底壁上垂直固定有擋板，所述擋板在所述蓋板上的投影靠近所述蓋板的第二端面，且所述擋板垂直方向上的投影位于所述蓋板的第二端面與待顯影物之間。

其中，所述擋板遠(yuǎn)離所述顯影腔室的底壁的一端貼靠所述蓋板。

其中，所述蓋板為透明蓋板。

本發(fā)明提供的所述顯影設(shè)備，通過將相對于水平面傾斜的所述蓋板蓋設(shè)于所述顯影腔室上，使得所述蓋板上的液滴在自身重力的作用下能夠沿所述蓋板的傾斜方向流至所述蓋板邊緣，從而進(jìn)行滑落，防止所述液滴直接滴落在所述顯影腔室內(nèi)的待顯影物上，從而保證所述待顯影物的品質(zhì)，提高產(chǎn)品良率。并且，在所述蓋板上朝向所述顯影腔室的一面設(shè)有多條間隔設(shè)置的導(dǎo)液條，且所述導(dǎo)液條朝向所述顯影腔室的外表面為外凸面，從而通過所述導(dǎo)液條減小所述液滴與所述蓋板的接觸面，使得所述液滴與所述蓋板之間的阻力減小，進(jìn)而使得所述液滴能夠沿所述導(dǎo)液條順利的流動至所述蓋板邊緣。

附圖說明

為更清楚地闡述本發(fā)明的構(gòu)造特征和功效，下面結(jié)合附圖與具體實施例來對其進(jìn)行詳細(xì)說明。

圖1是本發(fā)明一實施例的所述蓋板垂直于其導(dǎo)液條延伸方向的截面示意圖；

圖2是本發(fā)明另一實施例的所述蓋板垂直于其導(dǎo)液條延伸方向的截面示意圖；

圖3是本發(fā)明另一實施例的所述蓋板垂直于其導(dǎo)液條延伸方向的截面示意圖；

圖4是本發(fā)明實施例的所述顯影設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是圖4所述顯影設(shè)備沿I-I方向的截面示意圖。

具體實施例

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。其中，附圖僅用于示例性說明，表示的僅是示意圖，不能理解為對本專利的限制。