[發明專利]蓋板及顯影設備

在審

• 申請號: 201710795298.3
• 申請日: 2017-09-05
• 公開（公告）號: CN107479340A
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發明（設計）人: 元文強
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,熊永強

1.一種顯影設備的蓋板，其特征在于，所述蓋板包括第一端面、與第一端面相對的第二端面及連接第一端面和第二端面的一表面，所述蓋板的表面凸設有多條間隔設置的導液條，所述導液條從所述蓋板的第一端面朝向與所述第一端面相對的第二端面延伸，用于導流顯影設備內沉積在蓋板表面的液滴。

2.如權利要求1所述顯影設備的的蓋板，其特征在于，相鄰的兩條所述導液條之間設有凹槽，且所述凹槽與同其相鄰的兩條所述導液條之間光滑連接。

3.如權利要求2所述顯影設備的的蓋板，其特征在于，所述導液條的外表面及所述凹槽的內表面為弧面，且所述弧面垂直于所述導液條延伸方向的截面呈半圓形或呈拋物線形，或者，所述導液條的外表面及所述凹槽的內表面垂直于所述導液條延伸方向的截面呈V型。

4.一種顯影設備，用于對放入其中的待顯影物進行顯影，其特征在于，包括顯影腔室及蓋板，所述蓋板蓋設于所述顯影腔室上并相對于水平面傾斜，所述蓋板包括第一端面、與第一端面相對的第二端面及連接第一端面和第二端面的表面，所述蓋板朝向所述顯影腔室的表面凸設有多條間隔設置的導液條，所述導液條沿所述蓋板的傾斜方向上的第一端面朝向與所述第一端面相對的第二端面延伸，以使所述蓋板上沉積的液體從所述蓋板的第一端面導向所述第二端面，所述導液條朝向所述顯影腔室的外表面為外凸面。

5.如權利要求4所述的顯影設備，其特征在于，相鄰的兩條所述導液條之間設有凹槽，且所述凹槽與所述導液條之間光滑連接。

6.如權利要求5所述的顯影設備，其特征在于，所述導液條的外表面及所述凹槽的內表面為弧面，且所述弧面垂直于所述蓋板傾斜方向的截面呈半圓形或拋物線形。

7.如權利要求5所述的顯影設備，其特征在于，所述導液條的外表面及所述凹槽的內表面垂直于所述蓋板傾斜方向的截面呈V型。

8.如權利要求4所述的顯影設備，其特征在于，所述顯影腔室的底壁上垂直固定有擋板，所述擋板在所述蓋板上的投影靠近所述蓋板的第二端面，且所述擋板垂直方向上的投影位于所述蓋板的第二端面與待顯影物之間。

9.如權利要求8所述的顯影設備，其特征在于，所述擋板遠離所述顯影腔室的底壁的一端貼靠所述蓋板。

10.如權利要求4所述的顯影設備，其特征在于，所述蓋板為透明蓋板。