[發(fā)明專利]分體式掩模

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710794670.9
• 申請(qǐng)日: 2017-09-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107799670B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 白大源;金宗范
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11204
• 代理人: 王達(dá)佐;劉錚

本申請(qǐng)涉及一種分體式掩模。所述分體式掩模包括：包括至少一個(gè)開(kāi)口圖案的主體以及處于主體的邊緣處的夾持部分，夾持部分具有隨著相距主體的距離增加而增加的寬度，而且?jiàn)A持部分包括從主體延伸并且包括至少一個(gè)虛擬圖案的扇出部分以及具有隨著相距扇出部分距離增加而減小的寬度的至少一個(gè)分支部分。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

于2016年9月6日提交至韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局(KIPO)且標(biāo)題為“Division Mask(分體式掩模)”的第10-2016-0114309號(hào)韓國(guó)專利申請(qǐng)通過(guò)引用以其整體并入本文。

技術(shù)領(lǐng)域

示例性實(shí)施方式涉及分體式掩模，并且更具體地，涉及能夠基本避免波紋的分體式掩模。

背景技術(shù)

有機(jī)發(fā)光二極管(“OLED”)顯示設(shè)備是利用發(fā)光的OLED來(lái)顯示圖像的自發(fā)光顯示設(shè)備。不同于液晶顯示(“LCD”)設(shè)備，OLED顯示設(shè)備不要求單獨(dú)的光源，并且因此具有相對(duì)小的厚度和重量。此外，作為便攜式電子設(shè)備的下一代顯示設(shè)備，OLED顯示設(shè)備當(dāng)前憑借著其諸如低耗電、高亮度和高響應(yīng)速度的特性受到關(guān)注。

OLED顯示設(shè)備具有其中發(fā)光層插置在陽(yáng)極和陰極之間的堆疊結(jié)構(gòu)。分別從陽(yáng)極和陰極注入的空穴和電子在發(fā)光層中再結(jié)合，使得光被發(fā)射以獲得顏色。然而，由于利用上述結(jié)構(gòu)難以獲得高效率的光發(fā)射，所以選擇性地在每個(gè)電極和發(fā)光層之間插入和使用中間層，諸如電子注入層、電子傳輸層、空穴傳輸層和空穴注入層。

另一方面，可通過(guò)各種方法形成OLED顯示設(shè)備的中間層、電極和發(fā)光層，其中一種方法為沉積法。利用沉積法，使用具有與要形成在襯底上的薄膜的圖案基本相同的圖案的精細(xì)金屬掩模(“FMM”)來(lái)制造OLED顯示設(shè)備。將FMM在襯底上對(duì)齊，并且沉積薄膜形成材料以將襯底上的薄膜圖案化。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)示例性實(shí)施方式，分體式掩模可包括具有至少一個(gè)開(kāi)口圖案的主體以及處于主體的邊緣處的夾持部分，夾持部分具有隨著相距主體的距離增加而增加的寬度，而且?jiàn)A持部分包括從主體處延伸并且包括至少一個(gè)虛擬圖案的扇出部分以及具有隨著相距扇出部分的距離增加而減小的寬度的至少一個(gè)分支部分。

分支部分可包括具有與主體的外側(cè)表面平行的外側(cè)表面的端部部分。

分支部分可包括第一分支部分和第二分支部分。

第一分支部分可與第二分支部分兩側(cè)對(duì)稱。

第一分支部分的內(nèi)側(cè)端部和第二分支部分的內(nèi)側(cè)端部之間的寬度可大于主體的寬度。

第一分支部分和第二分支部分中的每一個(gè)相對(duì)于主體可具有大于或等于約135°且小于或等于約180°的角度。

虛擬圖案具有可與開(kāi)口圖案的形狀基本相同的形狀。

主體和夾持部分可包含金屬。

分體式掩模還可包括處于主體和夾持部分之間的接合部分。

根據(jù)另一個(gè)示例性實(shí)施方式，分體式掩模可包括具有開(kāi)口圖案的主體以及處于主體的相反端部處的夾持部分，夾持部分包括虛擬圖案。主體包括處于主體的中央處的中央部分，并且具有從中央部分朝向相反端部加寬的寬度。

夾持部分可包括第一分支部分和第二分支部分。

第一分支部分可與第二分支部分兩側(cè)對(duì)稱。

第一分支部分和第二分支部分中的每一個(gè)相對(duì)于主體可具有大于或等于約135°且小于或等于約180°的角度。

附圖說(shuō)明

通過(guò)結(jié)合附圖詳細(xì)描述示例性實(shí)施方式，特征對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言將變得明顯，在附圖中：

圖1示出根據(jù)示例性實(shí)施方式的分體式掩模的平面圖；