[發明專利]分體式掩模

有效

• 申請號: 201710794670.9
• 申請日: 2017-09-06
• 公開（公告）號: CN107799670B
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發明（設計）人: 白大源;金宗范
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

1.一種用于框架的分體式掩模，包括：

主體，包括至少一個開口圖案；以及

夾持部分，從所述主體的邊緣沿第一方向延伸；以及

接合部分，處于所述主體和所述夾持部分之間，所述接合部分焊接至所述框架，

其中，所述夾持部分的至少一部分具有隨著相距所述主體的距離增加而增加的寬度，而且所述夾持部分包括：

扇出部分，從所述主體延伸并且包括至少一個虛擬圖案，所述至少一個虛擬圖案僅在所述夾持部分的與所述主體相對應的部分中，以及

至少一個分支部分，從所述扇出部分延伸并具有隨著相距所述扇出部分的距離增加而減小的寬度，所述扇出部分處于所述主體和所述至少一個分支部分之間，

其中，所述至少一個分支部分的最外端在第二方向上的寬度小于所述夾持部分在所述第二方向上的任何其它寬度，并且所述第二方向垂直于所述第一方向，以及

其中，所述夾持部分的側邊在從所述接合部分到所述至少一個分支部分的單一直線上連續地沿所述第一方向延伸。

2.如權利要求1所述的分體式掩模，其中所述至少一個分支部分包括端部部分，所述端部部分具有與所述主體的外側表面平行的外側表面，所述端部部分的外側表面垂直于所述至少一個分支部分的最外端。

3.如權利要求1所述的分體式掩模，其中所述至少一個分支部分包括第一分支部分和第二分支部分。

4.如權利要求3所述的分體式掩模，其中所述第一分支部分與所述第二分支部分兩側對稱。

5.如權利要求3所述的分體式掩模，其中所述第一分支部分的內側端部和所述第二分支部分的內側端部之間的在所述第二方向上的寬度大于所述主體的在所述第二方向上的寬度。

6.如權利要求3所述的分體式掩模，其中所述第一分支部分和所述第二分支部分中的每一個相對于所述主體具有135°至180°的角度。

7.如權利要求1所述的分體式掩模，其中所述至少一個虛擬圖案具有與所述開口圖案的形狀相同的形狀。

8.如權利要求1所述的分體式掩模，其中所述主體和所述夾持部分包含金屬。

9.如權利要求1所述的分體式掩模，其中所述接合部分處于所述至少一個開口圖案和所述至少一個虛擬圖案之間。

10.如權利要求9所述的分體式掩模，其中所述夾持部分的所述扇出部分直接連接至所述接合部分，所述扇出部分在平面圖中具有梯形截面。

11.如權利要求1所述的分體式掩模，其中所述扇出部分在平面圖中具有梯形截面，所述梯形截面的較短底邊連接至所述主體。

12.一種用于框架的分體式掩模，包括：

主體，包括至少一個開口圖案，所述主體沿第一方向延伸；以及

夾持部分，在所述主體的所述第一方向上的相反端部處，所述夾持部分包括虛擬圖案，所述虛擬圖案僅在所述夾持部分的與所述主體相對應的部分中，

其中所述主體包括在所述第一方向上的所述相反端部之間的處于所述主體的中央處的中央部分，所述主體具有在定向為從所述中央部分朝向所述相反端部的方向上增加的寬度，以及

其中，所述主體的寬度在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸，并且當所述分體式掩模未附接至所述框架時，所述主體的寬度沿著所述第一方向從所述中央部分到在相應夾持部分處的所述相反端部連續地增加。

13.如權利要求12所述的分體式掩模，其中每個所述夾持部分包括第一分支部分和第二分支部分。

14.如權利要求13所述的分體式掩模，其中所述第一分支部分與所述第二分支部分兩側對稱。

15.如權利要求14所述的分體式掩模，其中所述第一分支部分和所述第二分支部分中的每一個具有與所述主體的相應的側表面共線的外側表面。