[發明專利]一種防止襯底背面溶液擴散的平臺

有效

• 申請號: 201710793226.5
• 申請日: 2017-09-05
• 公開（公告）號: CN107470095B
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 馮宗寶;歐陽俊波;張海鑾;程園園;章婷;劉德昂;曲亞東;錢磊;張德龍
• 申請（專利權）人: 蘇州威格爾納米科技有限公司
• 主分類號: B05C11/00
• 分類號: B05C11/00;B05C11/10
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 孟宏偉

本發明提供一種防止襯底背面溶液擴散的平臺，用于襯底底面的平面支撐定位，包括平臺本體，所述平臺本體上設有低于平臺本體表面的疏液槽，所述疏液槽設置在兩相鄰襯底的接合處。疏液槽可以有效避免在兩個襯底樣片間的狹縫透過的溶液對背面的污染，減少透過溶液對吸附通道系統的影響，提升產品品質，提高了生產效率。

技術領域

本發明涉及一種平板涂布設備，具體是一種防止襯底背面溶液擴散的平臺。

背景技術

擠壓式涂布方式以其精確的膜質可控性，被廣泛利用于新型薄膜太陽能電池、新型顯示材料、光學功能膜、環保滲透膜等新型行業領域。并排放置在涂布平臺的柔性基板或者剛性襯底在完成涂布的過程中，如圖1中，因為相鄰A、B兩片襯底間存在微小縫隙，導致涂布溶液透過縫隙而污染到襯底背面。如果平臺是吸附平臺，那么透過的溶液也有可能被吸附到排空管路中，這樣可能造成管道或者真空泵的腐蝕。

發明內容

為了克服上述現有技術的不足，本發明的目的是提供了一種防止襯底背面溶液擴散的平臺。

為達到上述目的，本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種防止襯底背面溶液擴散的平臺，用于襯底底面的平面支撐定位，包括平臺本體，所述平臺本體上設有低于平臺本體表面的疏液槽，所述疏液槽設置在兩相鄰襯底的接合處。

本發明相較于現有技術，疏液槽可以有效避免在兩個襯底樣片間的狹縫透過的溶液對背面的污染，減少透過溶液對吸附通道系統的影響，提升產品品質，提高了生產效率。

進一步地，所述疏液槽為一道條狀凹槽，條狀凹槽中心位置對應于相鄰襯底的接合處。

進一步地，所述條狀凹槽的橫截面成圓弧形或梯形。

采用上述優選的方案，圓弧形凹槽可以穩定匯集透過的溶液；梯形凹槽，開口小，容腔大，在保證能穩定收集透過的溶液基礎上，增加對襯底的支撐，提高儲液能力。

進一步地，所述疏液槽為多道并行設置的條狀凹槽，相鄰條狀凹槽之間的連接處表面與所述平臺本體處于同一平面高度。

采用上述優選的方案，多道設置的凹槽可以減小每道凹槽的開口寬度，每道凹槽的邊部對襯底依然起到支撐作用，可以有效減小襯底的局部變形。

進一步地，所述疏液槽的端部設有匯流槽。

進一步地，所述匯流槽內設有液位傳感器，所述匯流槽底部設有吸液口，所述吸液口與涂液回收裝置相連通，所述吸液口與涂液回收裝置間設有電磁控制閥。

采用上述優選的方案，通過疏液槽邊部設置儲液能力較強的匯流槽，并在匯流槽處連通涂液回收裝置，能及時抽離疏液槽內透過的溶液，防止溢液，也減少了涂液回收裝置吸液氣流對襯底變形的影響。

進一步地，所述疏液槽為多個成漏斗狀的凹槽，所述疏液槽下方設有儲液槽，每個所述凹槽底部與所述儲液槽相連通。

采用上述優選的方案，漏斗狀凹槽邊部對襯底有較強的支撐作用，既能穩定收集溶液，又能防止襯底變形，提高涂膜質量。

進一步地，所述儲液槽分為內腔室、外腔室，所述外腔室與涂液回收裝置的吸液口相連通。

進一步地，所述內腔室、外腔室側壁上方設有擋風導流片，所述擋風導流片一端鉸接在儲液槽內壁上，另一端設有能漂浮在溶液表面的浮球。

采用上述優選的方案，在內腔室溶液較少的情況下，擋風導流片與側壁相貼合，阻擋涂液回收裝置的吸液口氣流，當內腔室內溶液上升到一定位置，擋風導流片的浮球帶動擋風導流片打開，涂液回收裝置的吸液口將溢到外腔室的溶液吸取回收。

進一步地，所述疏液槽設置在一安裝塊上，所述安裝塊在所述平臺本體為可分拆式結構，所述安裝塊與所述平臺本體間還設有高度調節機構。