[發明專利]一種防止襯底背面溶液擴散的平臺

有效

• 申請號: 201710793226.5
• 申請日: 2017-09-05
• 公開（公告）號: CN107470095B
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 馮宗寶;歐陽俊波;張海鑾;程園園;章婷;劉德昂;曲亞東;錢磊;張德龍
• 申請（專利權）人: 蘇州威格爾納米科技有限公司
• 主分類號: B05C11/00
• 分類號: B05C11/00;B05C11/10
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 孟宏偉

1.一種防止襯底背面溶液擴散的平臺，用于襯底底面的平面支撐定位，包括平臺本體，其特征在于，所述平臺本體上設有低于平臺本體表面的疏液槽，所述疏液槽設置在兩相鄰襯底的接合處。

2.根據權利要求1所述的防止襯底背面溶液擴散的平臺，其特征在于，所述疏液槽為一道條狀凹槽，條狀凹槽中心位置對應于相鄰襯底的接合處。

3.根據權利要求2所述的防止襯底背面溶液擴散的平臺，其特征在于，所述條狀凹槽的橫截面成圓弧形或梯形。

4.根據權利要求1所述的防止襯底背面溶液擴散的平臺，其特征在于，所述疏液槽為多道并行設置的條狀凹槽，相鄰條狀凹槽之間的連接處表面與所述平臺本體處于同一平面高度。

5.根據權利要求4所述的防止襯底背面溶液擴散的平臺，其特征在于，所述疏液槽的端部設有匯流槽。

6.根據權利要求5所述的防止襯底背面溶液擴散的平臺，其特征在于，所述匯流槽內設有液位傳感器，所述匯流槽底部設有吸液口，所述吸液口與涂液回收裝置相連通，所述吸液口與涂液回收裝置間設有電磁控制閥。

7.根據權利要求1所述的防止襯底背面溶液擴散的平臺，其特征在于，所述疏液槽為多個成漏斗狀的凹槽，所述疏液槽下方設有儲液槽，每個所述凹槽底部與所述儲液槽相連通。

8.根據權利要求7所述的防止襯底背面溶液擴散的平臺，其特征在于，所述儲液槽分為內腔室、外腔室，所述外腔室與涂液回收裝置的吸液口相連通。

9.根據權利要求8所述的防止襯底背面溶液擴散的平臺，其特征在于，所述內腔室、外腔室側壁上方設有擋風導流片，所述擋風導流片一端鉸接在儲液槽內壁上，另一端設有能漂浮在溶液表面的浮球。

10.根據權利要求1所述的防止襯底背面溶液擴散的平臺，其特征在于，所述疏液槽設置在一安裝塊上，所述安裝塊在所述平臺本體為可分拆式結構，所述安裝塊與所述平臺本體間還設有高度調節機構。