[發明專利]陣列基板及其制作方法、顯示裝置

在審

• 申請號: 201710791691.5
• 申請日: 2017-09-05
• 公開（公告）號: CN107589606A
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 張心杰;劉成偉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1368;H01L27/12
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司11403
• 代理人: 李莎,李弘

1.一種陣列基板制作方法，其特征在于，包括：

在制作柵極層時，將所述柵極層中的柵極引線與參考信號線電性連接；

在制作完成有源層后，斷開所述柵極引線與所述參考信號線的電性連接。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述將柵極引線與參考信號線電性連接，包括：

在所述柵極引線與所述參考信號線之間形成連接引線，所述連接引線的兩端分別連接所述柵極引線與所述參考信號線。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，在制作柵極層時，同時制作所述柵極引線和連接引線。

4.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述斷開所述柵極引線與所述參考信號線的電性連接，包括：

去除所述連接引線。

5.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，還包括：

在所述柵極層上制作柵極絕緣層時，去除所述連接引線對應部位的柵極絕緣材料并暴露所述連接引線；

在形成所述柵極絕緣層之后制作源漏極層時，去除所述連接引線。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，在制作柵極絕緣層時，去除所述連接引線對應部位的柵極絕緣材料并暴露所述連接引線，包括：

在所述柵極層上形成柵極絕緣材料薄膜；

通過構圖工藝形成柵極絕緣層的圖形，所述圖形的與所述連接引線對應位置暴露出所述連接引線。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，在形成柵極絕緣材料薄膜之前，還包括：

形成柵極材料薄膜；

通過構圖工藝形成柵極層的圖形，所述圖形的與所述連接引線對應位置形成所述連接引線。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，通過構圖工藝形成柵極層的圖形之后，還包括：

形成有源層材料薄膜；

通過構圖工藝形成有源層的圖形。

9.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，在制作源漏極層時，去除所述連接引線，包括：

形成源漏極材料薄膜；

通過構圖工藝形成源漏極層的圖形，并去除所述連接引線。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，形成源漏極層的圖形之后，還包括：

形成層間絕緣層；

形成第一電極層；

形成鈍化層；

形成第二電極層。

11.一種陣列基板，其特征在于，采用如權利要求1-10任一項所述的陣列基板制作方法制作。

12.一種顯示裝置，其特征在于，包括如權利要求11所述陣列基板。