[發(fā)明專利]光掃描裝置以及光掃描裝置的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710791473.1
• 申請(qǐng)日: 2017-09-05
• 公開（公告）號(hào): CN107884925B
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丸山佑紀(jì);山田司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三美電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G02B26/10
• 分類號(hào): G02B26/10
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 金成哲;郭成周

本發(fā)明提供一種光掃描裝置以及光掃描裝置的制造方法，能夠減少光掃描裝置的破損、材料疲勞。一實(shí)施方式的光掃描裝置具備具有光反射面的反射鏡、支撐上述反射鏡的可動(dòng)框、從兩側(cè)支撐上述可動(dòng)框的一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁、設(shè)置于上述驅(qū)動(dòng)梁并使上述可動(dòng)框繞預(yù)定的軸擺動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源、支撐上述驅(qū)動(dòng)梁的固定框，上述驅(qū)動(dòng)源具備形成在上述驅(qū)動(dòng)梁上的下部電極、形成在上述下部電極上的壓電薄膜、形成在上述壓電薄膜上的上部電極、形成在上述上部電極上或上述壓電薄膜與上述上部電極之間并在上述驅(qū)動(dòng)梁上產(chǎn)生壓縮應(yīng)力的反應(yīng)力膜。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光掃描裝置以及光掃描裝置的制造方法。

背景技術(shù)

一直以來(lái)，所熟知具備具有反射入射光的光反射面的可動(dòng)板、可旋轉(zhuǎn)地軸支撐可動(dòng)板的扭力梁、在扭力梁上作用扭轉(zhuǎn)方向的力的驅(qū)動(dòng)源的光掃描裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在該光掃描裝置中，為了抑制轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的光反射面的歪曲，在包括可動(dòng)板與扭力梁的連接部分附近的下面形成肋。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-128116號(hào)公報(bào)

可是，在上述專利文獻(xiàn)1中記載的光掃描裝置中存在應(yīng)力集中在肋附近而容易產(chǎn)生破損的這種問(wèn)題。另外，即使沒有達(dá)到破損的程度，由于在肋附近反復(fù)施加應(yīng)力，存在產(chǎn)生材料疲勞而引起性能劣化的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述方面的發(fā)明，其目的在于減少光掃描裝置的破損、材料疲勞。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，涉及本發(fā)明一方案的光掃描裝置1000具備具有光反射面的反射鏡110、支撐上述反射鏡110的可動(dòng)框160、從兩側(cè)支撐上述可動(dòng)框160的一對(duì)驅(qū)動(dòng)梁170A、170B、設(shè)置于上述驅(qū)動(dòng)梁170A、170B并使上述可動(dòng)框160繞預(yù)定的軸擺動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源171A、171B、支撐上述驅(qū)動(dòng)梁170A、170B的固定框180，上述驅(qū)動(dòng)源171A、171B具備形成在上述驅(qū)動(dòng)梁170A、170B上的下部電極3、形成在上述下部電極3的壓電薄膜4、6、形成在上述壓電薄膜4、6上的上部電極7、形成在上述上部電極7上或上述壓電薄膜4、6與上述上部電極7之間并在上述驅(qū)動(dòng)梁上產(chǎn)生壓縮應(yīng)力的反應(yīng)力膜8。

并且，上述參照符號(hào)是為了容易理解而標(biāo)注的符號(hào)，只不過(guò)是一個(gè)例子，不限定于圖示的方式。

本發(fā)明的效果如下。

根據(jù)所公開的技術(shù)能夠減少光掃描裝置的破損、材料疲勞。

附圖說(shuō)明

圖1是表示涉及第一實(shí)施方式的光掃描裝置一例的立體圖(1)。

圖2是表示涉及第一實(shí)施方式的光掃描裝置一例的立體圖(2)。

圖3是表示涉及第一實(shí)施方式的光掃描裝置的光掃描部的一例的上面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。

圖4是表示涉及第一實(shí)施方式的光掃描裝置的光掃描部的一例的下面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。

圖5是用于說(shuō)明圖4中肋附近的應(yīng)力的圖。

圖6是用于說(shuō)明第二驅(qū)動(dòng)梁的上彎度的圖。

圖7是表示涉及第一實(shí)施方式的光掃描裝置的光掃描部的其他示例的上面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。

圖8是含有圖4中肋的區(qū)域的局部剖視圖。

圖9是表示涉及第二實(shí)施方式的光掃描裝置的光掃描部的一例的上面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。

圖10是涉及實(shí)施例的光掃描裝置的動(dòng)作前后中的肋附近的SEM圖像。

圖11是涉及比較例的光掃描裝置的動(dòng)作前后中的肋附近的SEM圖像。