[發(fā)明專利]光掃描裝置以及光掃描裝置的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710791473.1
• 申請日: 2017-09-05
• 公開（公告）號: CN107884925B
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設計）人: 丸山佑紀;山田司
• 申請（專利權）人: 三美電機株式會社
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權代理有限公司 11243
• 代理人: 金成哲;郭成周

1.一種光掃描裝置，其特征在于，

具備：

具有光反射面的反射鏡；

支撐上述反射鏡的可動框；

從兩側支撐上述可動框的一對驅動梁；

設置于上述驅動梁并使上述可動框繞預定的軸擺動的驅動源；以及

支撐上述驅動梁的固定框，

上述驅動源具備：

形成在上述驅動梁上的下部電極；

形成在上述下部電極上的壓電薄膜；

形成在上述壓電薄膜上的上部電極；以及

形成于上述上部電極或上述壓電薄膜與上述上部電極之間，并在上述驅動梁上產(chǎn)生壓縮應力的反應力膜，

在上述反射鏡靜止的狀態(tài)下，上述驅動梁以相對于上述固定框撓曲的狀態(tài)被支撐，

在上述驅動梁的下面形成肋，

上述反應力膜通過產(chǎn)生壓縮應力而使上述驅動梁在配置了上述肋的上述驅動梁的下面的方向上撓曲。

2.根據(jù)權利要求1所述的光掃描裝置，其特征在于，

上述驅動梁以向與在上述光掃描裝置進行動作時彎曲的方向相反的方向撓曲的狀態(tài)被支撐。

3.根據(jù)權利要求1所述的光掃描裝置，其特征在于，

在上述驅動梁與上述可動框的連結部分下面以及連結相鄰的上述驅動梁彼此的部分的下面設置肋。

4.根據(jù)權利要求1所述的光掃描裝置，其特征在于，

上述反應力膜由導電性材料形成。

5.根據(jù)權利要求1所述的光掃描裝置，其特征在于，

上述反應力膜由鈦以及鎢的合金形成。

6.一種光掃描裝置的制造方法，該光掃描裝置具備具有光反射面的反射鏡、支撐上述反射鏡的可動框、從兩側支撐上述可動框的一對驅動梁、設置于上述驅動梁并使上述可動框繞預定的軸擺動的驅動源以及支撐上述驅動梁的固定框，該光掃描裝置的制造方法的特征在于，

具備下述工序：

在上述驅動梁上形成下部電極的工序；

在上述下部電極上形成壓電薄膜的工序；

在上述壓電薄膜上形成上部電極的工序；以及

在上述上部電極上通過DC噴鍍法形成在上述驅動梁上產(chǎn)生壓縮應力的反應力膜的工序，

在上述反射鏡靜止的狀態(tài)下，上述驅動梁以相對于上述固定框撓曲的狀態(tài)被支撐，

在上述驅動梁的下面形成肋，

上述反應力膜通過產(chǎn)生壓縮應力而使上述驅動梁在配置了上述肋的上述驅動梁的下面的方向上撓曲。