[發(fā)明專利]一種顯示面板及其制程

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710788449.2
• 申請(qǐng)日: 2017-09-05
• 公開（公告）號(hào): CN107622975B
• 公開（公告）日: 2020-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張良芬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/77
• 分類號(hào): H01L21/77;H01L27/12
• 代理公司: 44300 深圳翼盛智成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 黃威

本發(fā)明提供了一種顯示面板及其制程，顯示面板制程包括：提供一基板層；在所述基板層上形成薄膜晶體管；在所述薄膜晶體管上形成一層平坦層；在所述平坦層上形成輔助電極層；在所述輔助電極層上依次沉積多層薄膜，所述多層薄膜中單層薄膜的致密性從下往上逐漸增大；對(duì)所述多層薄膜涂敷光阻、曝光、顯影形成預(yù)設(shè)圖案，形成預(yù)設(shè)圖案的所述多層薄膜的寬度相等；對(duì)所述多層薄膜進(jìn)行干蝕刻，以使所述多層薄膜中單層薄膜的寬度從下往上逐漸變大；去除所述多層薄膜上的涂覆光阻，形成倒梯形的陰極隔離柱。陰極隔離柱具有制程穩(wěn)定性好，大板均一性好的特點(diǎn)，并在后續(xù)制程中不容易從基板上脫落。簡化了制作倒梯形的陰極隔離柱的制程，提高了效率。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種顯示面板及顯示面板柵極信號(hào)的控制方法。

【背景技術(shù)】

現(xiàn)有的顯示面板主要包括有液晶(Liquid Crystal Display，LCD)顯示面板和OLED(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示面板。其中，OLED顯示面板具有自發(fā)光、驅(qū)動(dòng)電壓低、發(fā)光效率高、響應(yīng)時(shí)間短、清晰度與對(duì)比度高、近180°視角、使用溫度范圍寬，可實(shí)現(xiàn)柔性顯示與大面積全色顯示等諸多優(yōu)點(diǎn)，被業(yè)界公認(rèn)為是最有發(fā)展?jié)摿Φ娘@示面板。隨著OLED顯示面板的工藝、制程的提升，以及成本的降低，OLED電視逐漸普及，為更多人所認(rèn)識(shí)和接受。

而且，因OLED具有超越LCD的顯示特性與品質(zhì)：例如輕薄化，短的反應(yīng)時(shí)間，低的驅(qū)動(dòng)電壓更好的顯示色彩以及顯示視角等優(yōu)點(diǎn)，其受到大家廣泛的關(guān)注，近些年其發(fā)展日新月異，不僅可以制作曲面顯示，同時(shí)也逐漸向大尺寸發(fā)展。但是大尺寸又存在IR DropIssue,甚至目視可見Mura,故在工藝上制作輔助電極以及陰極隔離柱，將陰極隔離開從而達(dá)到單獨(dú)控制陰極，從而減少IR Drop的問題，改善顯示問題.

傳統(tǒng)的陰極隔離柱制作方式是通過有機(jī)光阻涂敷，曝光，顯影制作而成，通過控制工藝參數(shù)形成倒梯形；穩(wěn)定性差。

【發(fā)明內(nèi)容】

本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種顯示面板的制程，其陰極隔離柱穩(wěn)定性好。

本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提供一種顯示面板，其陰極隔離柱穩(wěn)定性好。

為解決上述問題，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例提供了一種顯示面板的制程，所述顯示面板的制程包括：

提供一基板層；

在所述基板層上形成薄膜晶體管；

在所述薄膜晶體管上形成一層平坦層；

在所述平坦層上形成輔助電極層；

在所述輔助電極層上依次沉積多層薄膜，所述多層薄膜中單層薄膜的致密性從下往上逐漸增大；

對(duì)所述多層薄膜涂敷光阻、曝光、顯影形成預(yù)設(shè)圖案，形成預(yù)設(shè)圖案的所述多層薄膜的寬度相等；

對(duì)所述多層薄膜進(jìn)行干蝕刻，以使所述多層薄膜中單層薄膜的寬度從下往上逐漸變大；

去除所述多層薄膜上的涂覆光阻，形成倒梯形的陰極隔離柱。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的顯示面板的制程中，所述多層薄膜中單層薄膜的致密性從下往上逐漸增大，包括：

所述多層薄膜包括至少三層薄膜，所述多層薄膜中相鄰薄膜的致密性的差值從下往上逐漸增大或減小。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的顯示面板的制程中，在所述輔助電極層上依次沉積多層薄膜，包括：

通過化學(xué)氣相沉積法在所述輔助電極層上依次沉積多層薄膜。

在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的顯示面板的制程中，在所述輔助電極層上依次沉積多層薄膜的步驟，包括：

多次進(jìn)入機(jī)臺(tái)，其中每次進(jìn)入機(jī)臺(tái)在所述輔助電極層上沉積一層薄膜。