[發(fā)明專利]基板支撐件及配向膜預烘烤裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710787557.8
• 申請日: 2017-09-04
• 公開（公告）號: CN107505739B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設計）人: 廖凱
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G02F1/1337
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種基板支撐件，其特征在于，包括支撐架（10）、及安裝于所述支撐架（10）上用于對基板進行支撐的多個支撐針（20）；

所述支撐架（10）內部設有流體通道（15），所述支撐架（10）一端連接有流體輸入管道（30），所述流體輸入管道（30）與流體通道（15）連通并向其內輸入流體以對安裝在所述支撐架（10）上的多個支撐針（20）進行溫度調節(jié)；

還包括對所述多個支撐針（20）進行溫度控制的溫控系統(tǒng)（40）；

所述溫控系統(tǒng)（40）包括安裝在支撐架（10）上以測試支撐架（10）溫度的溫度傳感器（41）、安裝在流體輸入管道（30）上以調節(jié)其內流體溫度和流量的溫度流量調節(jié)器（42）、及與所述溫度傳感器（41）和溫度流量調節(jié)器（42）均相連接的溫度控制器（43）；

其中，所述溫度控制器（43）根據(jù)所述溫度傳感器（41）的反饋，控制所述溫度流量調節(jié)器（42）對流體輸入管道（30）內流體的溫度和流量進行調節(jié)，進而控制所述多個支撐針（20）的溫度。

2.如權利要求1所述的基板支撐件，其特征在于，每一所述支撐針（20）均包括支撐柱（21）和支撐針頭（22），所述支撐柱（21）位于所述支撐針頭（22）的下方用于支撐所述支撐針頭（22）并與所述支撐架（10）連接而安裝在支撐架（10）上；

其中，所述支撐柱（21）為圓柱型，所述支撐針頭（22）為圓錐形；

所述支撐柱（21）為導熱金屬材料，所述支撐針頭（22）為熱絕緣材料。

3.如權利要求2所述的基板支撐件，其特征在于，所述支撐柱（21）為不銹鋼材料，所述支撐針頭（22）為聚醚醚酮材料。

4.如權利要求1所述的基板支撐件，其特征在于，所述支撐架（10）包括支架本體（11）、及設于所述支架本體（11）上的多個安裝柱（12），每一支撐針（20）對應安裝于一個安裝柱（12）上。

5.如權利要求4所述的基板支撐件，其特征在于，所述流體通道（15）貫穿所述支架本體（11）并向上延伸至每一安裝柱（12）內。

6.如權利要求4所述的基板支撐件，其特征在于，所述支架本體（11）在每一安裝柱（12）的位置處設有用于收容安裝柱（12）和支撐針（20）的收容孔，所述安裝柱（12）通過上下移動收容于收容孔內或伸出于所述支架本體（11），從而帶動所述支撐針（20）收容于收容孔內或伸出于所述支架本體（11）。

7.如權利要求1所述的基板支撐件，其特征在于，所述流體輸入管道（30）向流體通道（15）內輸入的流體為工藝冷卻水、氮氣、或壓縮干燥空氣。

8.如權利要求1所述的基板支撐件，其特征在于，所述支撐架（10）為不銹鋼材料。

9.一種配向膜預烘烤裝置，其特征在于，包括如權利要求1-8中任一項所述的基板支撐件、及用于從所述基板下方對基板進行加熱的加熱板，所述多個支撐針（20）穿過所述加熱板上下移動。