[發明專利]基板支撐件及配向膜預烘烤裝置

有效

• 申請號: 201710787557.8
• 申請日: 2017-09-04
• 公開（公告）號: CN107505739B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 廖凱
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G02F1/1337
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

本發明提供一種基板支撐件及配向膜預烘烤裝置。本發明的配向膜預烘烤裝置包括支撐架、及安裝于所述支撐架上用于對基板進行支撐的多個支撐針；所述支撐架內部設有流體通道，所述支撐架一端連接有流體輸入管道，所述流體輸入管道與流體通道連通并向其內輸入流體以對安裝在所述支撐架上的多個支撐針進行溫度調節，本發明通過向支撐架內通入流體而對支撐針進行溫度調節，從而在配向膜預烘烤制程中，不會因為支撐針溫度過高，在基板與支撐針接觸時造成支撐針所支撐位置處配向液提前固化而形成點狀的膜面凸起，從而從源頭上解決了Pin Mura的問題。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種基板支撐件及配向膜預烘烤裝置。

背景技術

液晶顯示裝置(Liquid Crystal Display，LCD)具有機身薄、省電、無輻射等眾多優點，得到了廣泛的應用。現有市場上的液晶顯示裝置大部分為背光型液晶顯示裝置，其包括液晶顯示面板及背光模組。通常液晶顯示面板由彩膜(Color Filter，CF)基板、薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)基板、夾于彩膜基板與TFT基板之間的液晶(LiquidCrystal，LC)及密封框膠(Sealant)組成。液晶顯示面板的工作原理是在兩片平行的玻璃基板當中放置液晶分子，通過玻璃基板通電與否來控制液晶分子改變方向，將背光模組的光線折射出來產生畫面。

通常，TFT基板及CF基板上分別具有一層配向膜，該配向膜與LC接觸后，能夠使得LC產生一定方向的預傾角，從而給液晶分子提供一個承載的角度(預傾角的大小對LCD的驅動電壓、對比度、響應時間、視角等具有重要影響)，配向膜的材料通常選用聚酰亞胺(Polyimide，PI)材料，由PI液涂布于基板上所形成。

目前常用的配向膜制作方法如下：采用轉印版(ARP Plate)在基板(陣列基板或彩膜基板)上涂布配向液(PI液)，然后再通過配向工藝(如摩擦配向工藝/光配向)以及其他工藝從而在基板上形成所需的配向膜。而具體的配向膜涂布過程又大致包括以下步驟：對基板進行清洗工藝，在經過清洗工藝的所述基板上涂布配向液，對涂布在所述基板上的配向液進行預烘烤(Pre-bake)，去除配向液內的溶劑而初步成膜形成PI膜，然后通過檢測設備進行PI膜涂布缺陷檢查，如果檢查PI膜無異常則將對PI膜進行主烘烤，完全去除PI膜中的溶劑，形成最終的配向膜。

其中，預烘烤的目的是將配向液里面的N-甲基吡咯烷酮(NMP)等溶劑揮發出來，使PI膜平整化，以便于下一步對PI膜進行檢查。PI預烘烤的手段，目前業界內主要是通過紅外線輻射加熱基板，致使溶劑揮發，并通過升降支撐針(Pin)承載基板，以實現均勻支撐基板和方便上下游傳送機械臂(Robot)的取放基板的效果。此預烘烤技術的最大制程問題是加熱過程中基板受熱不均的問題：支撐針與基板的接觸會造成接觸位置與沒接觸位置的受熱不均，從而造成由支撐針引起的膜層不均勻(Pin Mura)，進而會影響產品品質。

Pin Mura的產生原因是支撐基板的支撐針不是完全絕熱的，支撐針在加熱板附近升溫后無法及時降溫，由于支撐針末端的溫度高，承載下片還未烘烤的基板時，會提前對基板上與支撐針接觸的區域加熱，造成該區域的配向液迅速固化，由于基板上的配向液在還未將溶劑揮發成膜時仍可以流動，此時基板表面其他區域的配向液仍處于流動狀態，而已經固化的區域下陷，則配向液將不斷進行填充該下陷的部分，最終基板對應接觸支撐針的區域所形成的PI膜明顯厚于其他區域所形成的PI膜，上述基板將會影響最終成盒的顯示面板出現類似圖1的Pin Mura 5，即顯示面板1在點燈畫面下可見淡黑色圓形點狀的畫面異常即Pin Mura 5。此類Pin Mura 5將嚴重影響產品品質，輕微的會造成產品降等，嚴重的甚至造成產品報廢。

發明內容

本發明的目的在于提供一種基板支撐件，其支撐架內設有流體通道，通過向支撐架內通入流體而對支撐針進行溫度調節，能夠避免配向膜預烘烤制程中由于基板與高溫支撐針接觸而造成支撐針所支撐的位置處配向液提前固化而形成點狀的膜面凸起，從而從源頭上解決了Pin Mura的問題。