[發明專利]支撐裝置和半導體檢測裝置

有效

• 申請號: 201710775323.1
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN109427641B
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 施勝男;朱岳彬;徐兵;楊輔強;王保亮
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687;H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

本發明提供一種支撐裝置和半導體檢測裝置，用于承載板狀工件。所述支撐裝置和半導體檢測裝置包括：安裝基座；驅動組件，固定在所述安裝基座上；支撐吸附單元，用于承載并吸附板狀工件，所述支撐吸附單元包括H型支撐框架和多個中空的支撐桿，所述H型支撐框架與多個所述支撐桿固定連接，所述支撐桿用于支撐和吸附所述板狀工件，所述驅動組件用于驅動H型支撐框架升降，所述H型支撐框架帶動多個所述支撐桿升降。本發明中的支撐裝置和半導體檢測裝置可拓展支撐裝置對板狀工件的吸附面積，使板狀工件吸附后的全局面型精度改善，以減少支撐裝置在上料和下料的過程中出現故障的頻率。

技術領域

本發明涉及自動化裝備技術領域，特別涉及一種支撐裝置和半導體檢測裝置。

背景技術

目前，顯示器在人們生活中扮演著重要角色。在顯示器領域，以液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)和新近流行的有機發光顯示器(Organic Light-EmittingDiode，OLED)為代表的平板顯示器(Flat Panel Display，FPD)占據了主流市場，為人們提供了更理想的顯示畫面，對現有的顯示產業格局也產生了巨大的影響。

在平板顯示器領域，從產品研發到最終量產，薄膜晶體管檢測設備都起著至關重要的作用。薄膜晶體管檢測設備可有效縮短平板顯示器的開發周期，提高平板顯示器的穩定性等性能，以及有效降低成本。隨著薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor-liquid Crystal Display，TFT-LCD)的出現，平板顯示器逐漸向精細化、大型化、輕薄化以及經濟化發展，對產品的可靠性和制程工藝的穩定性有了更高的要求，所以在生產的各個工程階段對產品進行質量檢測就變得更加重要。因此，急需改善薄膜晶體管檢測設備的性能。

例如，對已顯影或刻蝕完成的玻璃基板進行曝光性能測量，對每一點的關鍵尺寸、套刻、膜厚等進行測量的半導體檢測裝置而言，則急需對半導體檢測裝置的支撐裝置進行改進。目前，所述半導體檢測裝置通常包括支撐裝置、傳輸機械手和基板臺。所述傳輸機械手用于上料和下料。上料時，傳輸機械手將將玻璃基板傳輸給支撐裝置，使支撐裝置支撐玻璃基板，之后在支撐裝置的作用下，玻璃基板下降，直至玻璃基板放置到基板臺上。下料時，玻璃基板在支撐裝置的作用下離開基板臺，并由支撐裝置支撐，之后，傳輸機械手將玻璃基板從支撐裝置上取走，完成下料。玻璃基板在上料和下料的過程中，由于玻璃基板本身較薄且尺寸較大，玻璃基板由支撐裝置支撐的時候，有較大翹曲，容易導致傳輸機械手從支撐裝置上取走玻璃基板的時候或者傳輸機械手將玻璃基板傳輸給支撐裝置的時候出現故障。

發明內容

本發明的目的在于提供一種支撐裝置和半導體檢測裝置，以解決現有的支撐裝置和半導體檢測裝置在上料和下料的過程中容易出現故障的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種支撐裝置，用于承載板狀工件，包括：安裝基座；驅動組件，固定在所述安裝基座上；支撐吸附單元，用于承載并吸附板狀工件，所述支撐吸附單元包括H型支撐框架和多個中空的支撐桿，所述H型支撐框架與多個所述支撐桿固定連接，所述支撐桿用于支撐和吸附所述板狀工件，所述驅動組件用于驅動H型支撐框架升降，所述H型支撐框架帶動多個所述支撐桿升降。

可選的，所述H型支撐框架的內部開設有真空氣道，所述真空氣道與所有的所述支撐桿的內部連通。

可選的，所述支撐吸附單元還包括輔助支撐桿，所述輔助支撐桿與所述H型支撐框架固定連接，所述輔助支撐桿用于支撐所述板狀工件。

可選的，所述輔助支撐桿包括輔助支撐柱和輔助支撐頭，所述輔助支撐柱設置在所述H型支撐框架上，所述輔助支撐頭固定在所述輔助支撐柱上，所述輔助支撐頭用于支撐所述板狀工件。

可選的，多個所述支撐桿均勻分布。

可選的，所述支撐吸附單元還包括提升件，所述提升件安裝在驅動組件上，所述H型支撐框架安裝在所述提升件上。