[發明專利]一種叉指狀測試結構

有效

• 申請號: 201710772516.1
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN107579016B
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 蔚倩倩;李桂花;仝金雨;李輝
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L23/58
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種叉指狀測試結構，其特征在于，所述叉指狀測試結構包括：在第一方向上相對設置的多個金屬結構；

其中，所述金屬結構包括：第一金屬線結構；與所述第一金屬線結構垂直設置連接的多條第二金屬線結構；設置于相鄰兩條所述第二金屬線結構之間的第三金屬線結構；所述第三金屬線結構為預設數量的短金屬線之間按照預設距離進行依次排布，且排布方向垂直于所述第一金屬線結構；所述第三金屬線結構與所述第一金屬線結構以及所述第二金屬線結構之間均不連接；

在所述第一方向上的所述第一金屬線結構之間相互連接；在所述第一方向上的所述第三金屬線結構中的相鄰的短金屬線之間相互連接。

2.根據權利要求1所述的叉指狀測試結構，其特征在于，在所述第一方向上所述第三金屬線結構中的相鄰的短金屬線之間兩端分別進行連接。

3.根據權利要求1所述的叉指狀測試結構，其特征在于，所述第一金屬線結構、所述第二金屬線結構以及所述第三金屬線結構相對位置固定不變。

4.根據權利要求1所述的叉指狀測試結構，其特征在于，在第一方向上相對設置的多個金屬結構之間的距離滿足預設條件，且相對位置固定不變。

5.根據權利要求1所述的叉指狀測試結構，其特征在于，所述第一金屬線結構接地連接。

6.根據權利要求1所述的叉指狀測試結構，其特征在于，相鄰兩條所述第二金屬線結構之間的距離相等。

7.根據權利要求1所述的叉指狀測試結構，其特征在于，所述第三金屬線結構位于相鄰兩條所述第二金屬線結構的居中位置。

8.根據權利要求1所述的叉指狀測試結構，其特征在于，所述第二金屬線結構的數量為20條至100條。

9.根據權利要求1所述的叉指狀測試結構，其特征在于，所述短金屬線之間的預設距離為40nm-200nm。