[發明專利]圖案制造裝置、圖案制造方法及圖案制造程序

在審

• 申請號: 201710772028.0
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN107870520A
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 大嶋英司
• 申請（專利權）人: 康達智株式會社
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 陳煒,杜誠

技術領域

本發明涉及圖案制造裝置、圖案制造方法以及圖案制造程序。

背景技術

在上述技術領域中，專利文獻1公開了一種用光照射形成有電路圖案的光掩模并使電路圖案顯露在板上的技術。

[專利文獻1]日本專利特開No.2002-194253

發明內容

在上述文獻中描述的技術中，由于沒有設置加熱器，所以不可能加熱圖案形成光固化層，從而不能快速成型。

本發明能夠提供一種解決上述問題的技術。

本發明的一個方面提供了一種圖案制造裝置，其包括：

形成單元，其通過用光束照射圖案形成光固化層來形成圖案；以及

加熱器，其對圖案形成光固化層進行加熱。

本發明的另一方面提供了一種圖案制造方法，其包括：

通過用光束照射圖案形成光固化層來形成圖案；以及

對圖案形成光固化層進行加熱。

本發明的另一方面提供了一種用于使計算機執行方法的圖案制造程序，所述方法包括：

通過用光束照射圖案形成光固化層來形成圖案；以及

對圖案形成光固化層進行加熱。

根據本發明，可以對圖案形成光固化層進行加熱，從而能夠快速成型。

附圖說明

圖1是用于說明根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置的整體配置的概要的示意圖；

圖2A是示出通過根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置進行的圖案形成過程的概要的圖；

圖2B示出用于說明根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置中使用的圖案形成片的配置的平面圖和側面圖；

圖2C是用于說明根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置中使用的圖案形成片以及光束照射后圖案形成片的粘附的圖；

圖2D是用于說明涂敷根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置中使用的圖案形成片的光固化層的方法的示例的圖；

圖3是用于說明根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置的裝置配置的示例的圖；

圖4A是用于說明在根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置的光源單元中包括的光學引擎的配置的示例的圖；

圖4B是用于說明在根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置的光源單元中包括的光學引擎的配置的另一示例的平面圖；

圖4C是用于說明在根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置的光源單元中包括的光學引擎的配置的另一示例的透視圖；

圖5是示出包括根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置的光學引擎的激光投影儀的配置的圖；

圖6是示出包括根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置的光學引擎的激光投影儀的功能配置的框圖；

圖7是用于說明通過根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置進行的圖案制造程序的流程圖；

圖8是用于說明根據本發明的第二示例性實施方式的圖案制造裝置的配置的示例的圖；以及

圖9是用于說明通過根據本發明的第二示例性實施方式的圖案制造裝置進行的圖案制造程序的流程圖。

具體實施方式

現在將參照附圖詳細描述本發明的示例性實施方式。應當注意，除非另有具體說明，否則在這些示例性實施方式中闡述的部件的相對布置、數值表達式和數值不限制本發明的范圍。

[第一示例性實施方式]

將參照圖1至圖7描述根據本發明的第一示例性實施方式的圖案制造裝置100。圖案制造裝置100是通過用光束照射圖案形成片而在任意工件表面上制造圖案的裝置。

<技術前提>

將首先描述該示例性實施方式的技術前提。注意，電路圖案將被例示為圖案。然而，該示例性實施方式的技術不限于此。

通常，通過使用諸如PADS(個人自動設計系統)的CAD(計算機輔助設計)設計PCB(印刷電路板)來確定電路圖案。之后，電路圖案由分包商利用絲網印刷或光致抗蝕劑方法制造。在這些設計過程中，除了在個人計算機等的屏幕上進行確認之外，還越來越需要使用實際的產品來檢查電路圖案的設計是否合適。