[發明專利]圖案制造裝置、圖案制造方法及圖案制造程序在審
| 申請號： | 201710772028.0 | 申請日： | 2017-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN107870520A | 公開（公告）日： | 2018-04-03 |
| 發明（設計）人： | 大嶋英司 | 申請（專利權）人： | 康達智株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司11227 | 代理人： | 陳煒,杜誠 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 制造 裝置 方法 程序 | ||
1.一種圖案制造裝置，包括：
形成單元，其通過用光束照射圖案形成光固化層來形成圖案；以及加熱器，其對所述圖案形成光固化層進行加熱。
2.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述圖案形成光固化層被包括在圖案形成片中。
3.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述加熱器經由鉸鏈附接并且圍繞所述鉸鏈轉動。
4.根據權利要求1所述的裝置，還包括：
開關，其將所述加熱器切換為被設置在多個轉動位置處。
5.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述加熱器包括加熱絲加熱器，并且所述加熱器被設置在第一位置，在第一位置處熱量被傳遞到所述圖案形成光固化層。
6.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述加熱器包括紅外加熱器，并且所述加熱器被設置在第二位置，在第二位置處紅外線到達所述圖案形成光固化層。
7.根據權利要求3所述的裝置，還包括：
開關，其將所述加熱器切換為被設置在多個轉動位置處。
8.根據權利要求7所述的裝置，其中，所述加熱器包括加熱絲加熱器，并且所述加熱器被設置在第一位置，在第一位置處熱量被傳遞到所述圖案形成光固化層。
9.根據權利要求7所述的裝置，其中，所述加熱器包括紅外加熱器，并且所述加熱器被設置在第二位置，在第二位置處紅外線到達所述圖案形成光固化層。
10.根據權利要求8所述的裝置，其中，所述加熱器包括紅外加熱器，并且所述加熱器被設置在第二位置，在第二位置處紅外線到達所述圖案形成光固化層。
11.根據權利要求3所述的裝置，其中，所述加熱器包括加熱絲加熱器，并且所述加熱器被設置在第一位置，在第一位置處熱量被傳遞到所述圖案形成光固化層。
12.根據權利要求3所述的裝置，其中，所述加熱器包括紅外加熱器，并且所述加熱器被設置在第二位置，在第二位置處紅外線到達所述圖案形成光固化層。
13.根據權利要求11所述的裝置，其中，所述加熱器包括紅外加熱器，并且所述加熱器被設置在第二位置，在第二位置處紅外線到達所述圖案形成光固化層。
14.一種圖案制造方法，包括：
通過用光束照射圖案形成光固化層來形成圖案；以及
對所述圖案形成光固化層進行加熱。
15.一種存儲用于使計算機執行方法的圖案制造程序的非暫態計算機可讀介質，所述方法包括：
通過用光束照射圖案形成光固化層來形成圖案；以及
對所述圖案形成光固化層進行加熱。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于康達智株式會社，未經康達智株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710772028.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種方便清理的養蠶裝置
- 下一篇：一種捕黃鱔裝置
