[發明專利]一種預抽真空裝置

有效

• 申請號: 201710771338.0
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN107385410B
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發明（設計）人: 張毅
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種預抽真空裝置，包括腔壁，腔壁內放置玻璃基板，其特征在于：所述腔壁一側內壁同時設有干泵排氣口和低溫泵排氣口，所述干泵排氣口與所述玻璃基板之間設第一擋板，所述第一擋板與所述腔壁不接觸，所述第一擋板遮蓋所述干泵排氣口；所述低溫泵排氣口與所述玻璃基板之間設第二擋板，所述第二擋板與所述腔壁不接觸，所述第二擋板遮蓋所述低溫泵排氣口。

2.如權利要求1所述預抽真空裝置，其特征在于：所述第一擋板和所述第二擋板表面均采用光滑處理。

3.如權利要求2所述預抽真空裝置，其特征在于：所述第一擋板和所述第二擋板均為長方形，長方形中較長的一邊平行于所述玻璃基板的上平面。

4.如權利要求1所述預抽真空裝置，其特征在于：所述第一擋板和所述第二擋板均由螺栓連接于所述內壁上，所述螺栓位置靠近所述第一擋板和所述第二擋板的邊緣。

5.如權利要求1所述預抽真空裝置，其特征在于：所述第一擋板和所述第二擋板同時平行于所述腔壁。

6.如權利要求1所述預抽真空裝置，其特征在于：所述第一擋板和所述第二擋板均設置導引面，所述導引面一端與所述第一擋板或所述第二擋板連接，另一端向所述內壁的反方向延伸，所述導引面繞所述第一擋板或所述第二擋板邊緣連續設置。

7.如權利要求6所述預抽真空裝置，其特征在于：所述導引面截面為直面。

8.如權利要求6所述預抽真空裝置，其特征在于：所述導引面截面為圓弧面，所述圓弧面與所述第一擋板或所述第二擋板相切。

9.如權利要求1所述預抽真空裝置，其特征在于：所述第一擋板在正對所述干泵排氣口位置設平滑突起部，所述突起部最高點正對所述干泵排氣口中心；所述第二擋板在正對所述低溫泵排氣口位置設平滑突起部，所述突起部最高點正對所述低溫泵排氣口中心。

10.如權利要求1所述預抽真空裝置，其特征在于：所述第一擋板和所述第二擋板的材料均為不銹鋼。