[發(fā)明專利]存儲(chǔ)器件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710770958.2
• 申請(qǐng)日: 2017-08-31
• 公開（公告）號(hào): CN107845638B
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尹狀根;金善煐;趙厚成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星電子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L27/11526
• 分類號(hào): H01L27/11526;H01L27/11573
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 倪斌

1.一種存儲(chǔ)器件，包括：

一對(duì)公共源極線，彼此間隔開地設(shè)置在襯底上，并沿第一方向延伸；

多個(gè)接地選擇線，設(shè)置在所述一對(duì)公共源極線之間，沿所述第一方向延伸并且設(shè)置在相同的第一層面上；

多個(gè)字線，設(shè)置在所述一對(duì)公共源極線之間所述多個(gè)接地選擇線上方，沿所述第一方向延伸并且設(shè)置在相同的第二層面上，所述多個(gè)字線的至少一部分通過連接電極進(jìn)行連接；以及

多個(gè)第一分離絕緣圖案，設(shè)置在所述多個(gè)接地選擇線當(dāng)中的相應(yīng)接地選擇線之間，并且沿所述第一方向延伸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器件，還包括設(shè)置在所述多個(gè)接地選擇線當(dāng)中的其它相應(yīng)接地選擇線之間并設(shè)置在所述多個(gè)第一分離絕緣圖案當(dāng)中的相應(yīng)第一分離絕緣圖案之間的至少一個(gè)第二分離絕緣圖案，所述至少一個(gè)第二分離絕緣圖案比所述多個(gè)第一分離絕緣圖案短并且設(shè)置成與所述連接電極重疊。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的存儲(chǔ)器件，還包括設(shè)置在所述多個(gè)接地選擇線和所述多個(gè)字線之間的模制絕緣層，其中所述多個(gè)第一分離絕緣圖案和所述至少一個(gè)第二分離絕緣圖案包括與所述模制絕緣層的材料不同的材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的存儲(chǔ)器件，還包括至少一個(gè)第一導(dǎo)電線路，所述第一導(dǎo)電線路沿所述第一方向延伸，并通過所述連接電極和所述至少一個(gè)第二分離絕緣圖案分成第一部分和第二部分。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的存儲(chǔ)器件，其中所述至少一個(gè)第一導(dǎo)電線路包括兩個(gè)第一導(dǎo)電線路，并且所述兩個(gè)第一導(dǎo)電線路設(shè)置在所述多個(gè)第一分離絕緣圖案之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的存儲(chǔ)器件，其中所述多個(gè)字線當(dāng)中設(shè)置在所述多個(gè)字線的中心區(qū)中的字線與所述多個(gè)接地選擇線當(dāng)中的單個(gè)接地選擇線重疊，并且所述多個(gè)字線當(dāng)中的各個(gè)不同字線與所述多個(gè)接地選擇線當(dāng)中的兩個(gè)接地選擇線重疊。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的存儲(chǔ)器件，其中所述多個(gè)第一分離絕緣圖案中的一個(gè)設(shè)置在所述一對(duì)公共源極線中的一個(gè)與所述至少一個(gè)第一導(dǎo)電線路之間，并且所述多個(gè)第一分離絕緣圖案中的另一個(gè)設(shè)置在所述一對(duì)公共源極線中的另一個(gè)與所述至少一個(gè)第一導(dǎo)電線路之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的存儲(chǔ)器件，還包括至少一個(gè)第二導(dǎo)電線路，所述至少一個(gè)第二導(dǎo)電線路設(shè)置在所述多個(gè)接地選擇線當(dāng)中的相應(yīng)接地選擇線之間并且沿所述第一方向延伸。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的存儲(chǔ)器件，其中所述至少一個(gè)第一導(dǎo)電線路和所述至少一個(gè)第二導(dǎo)電線路設(shè)置在所述多個(gè)第一分離絕緣圖案之間。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的存儲(chǔ)器件，其中所述多個(gè)字線當(dāng)中設(shè)置在所述多個(gè)字線的中心區(qū)中的字線與所述多個(gè)接地選擇線當(dāng)中的單個(gè)接地選擇線重疊，并且所述多個(gè)字線當(dāng)中的各個(gè)不同字線與兩個(gè)接地選擇線重疊。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器件，其中所述多個(gè)接地選擇線彼此間隔開地沿與所述第一方向垂直的第二方向設(shè)置，并且所述多個(gè)接地選擇線中的每一個(gè)彼此間隔開地沿所述第一方向設(shè)置。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器件，包括虛溝道結(jié)構(gòu)，所述虛溝道結(jié)構(gòu)沿與所述襯底的上表面垂直的方向延伸并穿過所述多個(gè)字線的至少一部分，其中所述虛溝道結(jié)構(gòu)設(shè)置成與所述多個(gè)第一分離絕緣圖案重疊。