[發明專利]一種半導體壓力傳感器、顯示面板和顯示裝置

有效

• 申請號: 201710770446.6
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN107608548B
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 宋瓊;馬揚昭;鄭斌義;吳玲;沈柏平
• 申請（專利權）人: 廈門天馬微電子有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明實施例公開了半導體壓力傳感器、顯示面板和顯示裝置，半導體壓力傳感器包括壓力檢測單元、偏置電壓施加電路和電壓檢測電路；壓力檢測單元的第一半導體層的主應力方向和第二半導體層的主應力方向垂直；第一半導體層的第一電源信號輸入端和第二半導體層的第四電源信號端通過第一電源信號線與偏置電壓施加電路電連接，第一半導體層的第二電源信號輸入端與第二半導體層的第三電源信號輸入端通過第二電源信號線與偏置電壓施加電路電連接，第一半導體層的第一感應信號測量端和第二半導體層的第二感應信號測量端分別與電壓檢測電路電連接。綜上，設置第一半導體層的主應力方向和第二半導體層的主應力方向垂直，半導體壓力傳感器壓力檢測靈敏。

技術領域

本發明實施例涉及半導體技術領域，尤其涉及一種半導體壓力傳感器、顯示面板和顯示裝置。

背景技術

目前，越來越多的電子設備配置有觸控顯示屏，例如，公共場所大廳的信息杳詢機，用戶在日常生活工作中使用的電腦、手機等。這樣，用戶只需用手指觸摸觸控顯示屏上的標識就能夠實現對該電子設備進行操作，擺脫了鍵盤和鼠標操作，使人機交互更為直截了當。為了更好地滿足用戶需求，通常在觸控顯示屏中設置有用于檢測用戶在觸摸觸控顯示屏過程中觸控壓力的大小的壓力傳感器。

電橋式應變傳感器便是一種可以檢測觸控壓力大小的壓力傳感器，電橋式應變傳感器通過檢測z方向應變引發的面內形變，測量傳感器的電阻變化來計算觸控壓力大小。

半導體壓力傳感器為電橋式應變傳感器的一種，現有技術中，同一觸控位置引起的半導體壓力傳感器沿x方向和y方向的形變有差異，造成半導體壓力傳感器靈敏度較低。

發明內容

有鑒于此，本發明實施例提供一種半導體壓力傳感器、顯示面板和顯示裝置，以解決現有技術中半導體壓力傳感器靈敏度較低的技術問題。

第一方面，本發明實施例提供了一種半導體壓力傳感器，包括壓力檢測單元、偏置電壓施加電路和電壓檢測電路；

所述壓力檢測單元包括第一半導體層和第二半導體層，所述第一半導體層的主應力方向和所述第二半導體層的主應力方向垂直；所述第一半導體層包括第一電源信號輸入端和第二電源信號輸入端以及位于所述第一電源信號輸入端和所述第二電源信號輸入端之間的第一感應信號測量端，所述第二半導體層包括第三電源信號輸入端和第四電源信號輸入端以及位于所述第三電源信號輸入端和所述第四電源信號輸入端之間的第二感應信號測量端；

所述第一電源信號輸入端和所述第四電源信號輸入端通過第一電源信號線與所述偏置電壓施加電路電連接，所述第二電源信號輸入端和所述第三電源信號輸入端通過第二電源信號線與所述偏置電壓施加電路電連接；

所述第一感應信號測量端通過第一感應測量線與所述電壓檢測電路電連接，所述第二感應信號測量端通過第二感應測量線與所述電壓檢測電路電連接。

第二方面，本發明實施例還提供了一種顯示面板，包括第一方面所述的半導體壓力傳感器，還包括襯底基板，位于襯底基板一側的薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括有源層；

當所述第一半導體層和所述第二半導體層位于不同膜層時，所述第一半導體層或者所述第二半導體層與所述有源層同層設置；

當所述第一半導體層和所述第二半導體層位于同一膜層時，所述第一半導體層和所述第二半導體層與所述有源層同層設置。

第三方面，本發明實施例還提供了一種顯示裝置，包括第二方面所述的顯示面板。