[發明專利]一種半導體壓力傳感器、顯示面板和顯示裝置

有效

• 申請號: 201710770446.6
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN107608548B
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 宋瓊;馬揚昭;鄭斌義;吳玲;沈柏平
• 申請（專利權）人: 廈門天馬微電子有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種半導體壓力傳感器，其特征在于，包括壓力檢測單元、偏置電壓施加電路和電壓檢測電路；

所述壓力檢測單元包括第一半導體層和第二半導體層，所述第一半導體層和所述第二半導體層分別形成為具有一長軸和一短軸的形狀，所述第一半導體層的主應力方向和所述第二半導體層的主應力方向垂直；所述第一半導體層包括第一電源信號輸入端和第二電源信號輸入端以及位于所述第一電源信號輸入端和所述第二電源信號輸入端之間的第一感應信號測量端，所述第二半導體層包括第三電源信號輸入端和第四電源信號輸入端以及位于所述第三電源信號輸入端和所述第四電源信號輸入端之間的第二感應信號測量端；

所述第一電源信號輸入端和所述第四電源信號輸入端通過第一電源信號線與所述偏置電壓施加電路電連接，所述第二電源信號輸入端和所述第三電源信號輸入端通過第二電源信號線與所述偏置電壓施加電路電連接；

所述第一感應信號測量端通過第一感應測量線與所述電壓檢測電路電連接，所述第二感應信號測量端通過第二感應測量線與所述電壓檢測電路電連接；

所述第一半導體層和所述第二半導體層位于不同膜層且所述第一半導體層與所述第二半導體層之間設置有絕緣層或者所述第一半導體層和所述第二半導體層位于同一膜層；

所述第一半導體層和所述第二半導體層垂直且不相交，或者所述第一半導體層和所述第二半導體層垂直，且所述第一半導體層的第一電源信號輸入端和所述第二半導體層的第四電源信號輸入端相交或者所述第一半導體層的第二電源信號輸入端和所述第二半導體層的第三電源信號輸入端相交。

2.根據權利要求1所述的半導體壓力傳感器，其特征在于，所述第一半導體層的形狀為長方形，所述第二半導體層的形狀為長方形，所述第一半導體層長邊的延伸方向與所述第二半導體層長邊的延伸方向垂直。

3.根據權利要求2所述的半導體壓力傳感器，其特征在于，所述第一半導體層長邊的延伸長度為100μm-150μm，所述第二半導體層長邊的延伸長度為100μm-150μm。

4.根據權利要求1所述的半導體壓力傳感器，其特征在于，所述第一半導體層的電阻和所述第二半導體的電阻相同。

5.根據權利要求4所述的半導體壓力傳感器，其特征在于，所述第一感應信號測量端位于所述第一半導體層的中間位置；所述第二感應信號測量端位于所述第二半導體層的中間位置。

6.一種顯示面板，其特征在于，包括權利要求1-5任一項所述的半導體壓力傳感器，還包括襯底基板，位于所述襯底基板一側的薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括有源層；

當所述第一半導體層和所述第二半導體層位于不同膜層時，所述第一半導體層或者所述第二半導體層與所述有源層同層設置；

當所述第一半導體層和所述第二半導體層位于同一膜層時，所述第一半導體層和所述第二半導體層與所述有源層同層設置。

7.根據權利要求6所述的顯示面板，其特征在于，所述薄膜晶體管還包括柵極電極層和源漏電極層，所述顯示面板還包括位于所述薄膜晶體管遠離所述襯底基板一側的觸控走線層和反射電極層中的一層或多層。

8.根據權利要求7所述的顯示面板，其特征在于，所述第一半導體層和所述第二半導體層位于不同膜層，所述第一半導體層位于所述第二半導體層遠離所述襯底基板的一側，且所述第一半導體層與所述有源層同層設置；

所述柵極電極位于所述有源層遠離所述襯底基板的一側，所述顯示面板還包括位于所述襯底基板與所述有源層之間的遮光層；所述第一感應測量線與所述柵極電極層、源漏電極層、觸控走線層以及反射電極層中的一層同層設置，所述第二感應測量線與所述遮光層同層設置。

9.根據權利要求8所述的顯示面板，其特征在于，所述第一電源信號線與所述第二電源信號線同層設置；

所述第一電源信號線和所述第二電源信號線與所述柵極電極層、源漏電極層、觸控走線層、反射電極層以及遮光層中的一層同層設置。