[發(fā)明專利]一種柔性襯底、柔性O(shè)LED器件及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710767108.7
• 申請(qǐng)日: 2017-08-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107527998B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李松杉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/00
• 分類號(hào): H01L51/00;H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 鐘子敏

本發(fā)明公開(kāi)了一種柔性襯底、柔性O(shè)LED器件及其制備方法，該柔性襯底包括：聚酰亞胺層；金屬氧化物絕緣層，覆蓋在所述聚酰亞胺層上，用于阻隔所述聚酰亞胺層在退火時(shí)產(chǎn)生的氣體和/或水透過(guò)。通過(guò)上述方式，本發(fā)明所提供的實(shí)施方式能夠阻擋水和/或氣體的滲透。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及有機(jī)電致發(fā)光技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種柔性襯底、柔性O(shè)LED器件及其制備方法。

背景技術(shù)

有機(jī)電致發(fā)光(OLED)器件是一種自發(fā)光器件，具有質(zhì)量輕、厚度薄、發(fā)光效率高等優(yōu)點(diǎn)。其中，柔性O(shè)LED器件由于其低功耗、可變形、可彎曲等特點(diǎn)，受到越來(lái)越多的關(guān)注。

柔性O(shè)LED器件是一種利用OLED技術(shù)在柔性襯底上制作的顯示器件。一般而言，柔性O(shè)LED器件常用的襯底材料有高分子聚合物、金屬薄片、超薄玻璃等，其中，高分子聚合物襯底柔韌性較好且表面平整度較高。

本發(fā)明的發(fā)明人在長(zhǎng)期研發(fā)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)，在柔性O(shè)LED器件的制程過(guò)程中一般會(huì)經(jīng)過(guò)高溫退火過(guò)程，當(dāng)其襯底材料為高分子聚合物，例如聚酰亞胺時(shí)，聚酰亞胺在高溫下容易產(chǎn)生水和氧氣，而聚酰亞胺襯底本身對(duì)水和氧氣的阻擋性能較差，容易導(dǎo)致水和氧氣滲透到柔性O(shè)LED器件中，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致柔性O(shè)LED器件失效。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種柔性襯底、柔性O(shè)LED器件及其制備方法，能夠阻擋水和氣體的滲透。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種柔性襯底，包括：聚酰亞胺層和金屬氧化物絕緣層；所述金屬氧化物絕緣層覆蓋在所述聚酰亞胺層上，用于阻隔所述聚酰亞胺層在退火時(shí)產(chǎn)生的氣體和/或水透過(guò)。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的另一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種柔性O(shè)LED器件，所述器件包括柔性襯底和設(shè)置在所述柔性襯底上的陣列基板，所述柔性襯底包括：聚酰亞胺層；金屬氧化物絕緣層，覆蓋所述聚酰亞胺層一側(cè)，用于阻隔所述聚酰亞胺層在退火時(shí)產(chǎn)生的氣體和/或水透過(guò)。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的另一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種柔性O(shè)LED器件的制備方法，包括：提供基板；在所述基板上形成聚酰亞胺層；在所述聚酰亞胺層上覆蓋金屬氧化物絕緣層；在所述金屬氧化物絕緣層上形成薄膜晶體管背板層；在所述薄膜晶體管背板層上形成第一電極層；在所述薄膜晶體管背板層上形成像素界定層，并在所述像素界定層對(duì)應(yīng)所述第一電極層的位置形成開(kāi)口，所述第一電極層從所述開(kāi)口內(nèi)露出；在所述像素界定層的開(kāi)口區(qū)域內(nèi)形成發(fā)光層；在所述發(fā)光層上形成第二電極層；將所述基板剝離所述聚酰亞胺層，進(jìn)而得到所述柔性O(shè)LED器件。

本發(fā)明的有益效果是：區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明所提供的柔性襯底包括聚酰亞胺層以及覆蓋在聚酰亞胺層上的金屬氧化物絕緣層，該金屬氧化物絕緣層致密性較好，一方面可以阻隔聚酰亞胺層在退火時(shí)產(chǎn)生的氣體和/或水從金屬氧化物絕緣層上透過(guò)，另一方面也可以阻隔柔性O(shè)LED器件外部的氣體和/或水從金屬氧化物絕緣層上透過(guò)，從而提高柔性O(shè)LED器件的穩(wěn)定性。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。其中：

圖1是本發(fā)明柔性襯底一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明柔性O(shè)LED器件一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明柔性O(shè)LED器件的制備方法一實(shí)施方式的流程示意圖；

圖4是圖3中步驟S101-S109對(duì)應(yīng)的OLED柔性器件一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式