[發(fā)明專利]一種顯示面板、其制作方法及顯示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710765411.3
• 申請日: 2017-08-30
• 公開（公告）號(hào): CN107393870B
• 公開（公告）日: 2020-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐德智;宮奎
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/77
• 分類號(hào): H01L21/77;H01L27/12
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種顯示面板的制作方法，其特征在于，包括：

在襯底基板上形成第一金屬層的圖形，以及位于所述第一金屬層背離所述襯底基板一側(cè)的金屬氧化物導(dǎo)電層的圖形，且所述金屬氧化物導(dǎo)電層通過至少一個(gè)通孔與所述第一金屬層電性連接；其中，

在形成所述金屬氧化物導(dǎo)電層的圖形之前，在所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板一側(cè)的表面形成一層還原金屬層；所述還原金屬層為由金屬氫化物材料構(gòu)成的膜層；

在形成所述金屬氧化物導(dǎo)電層的圖形之后，對所述還原金屬層和所述金屬氧化物導(dǎo)電層進(jìn)行處理，以使所述還原金屬層還原為第二金屬層，以及所述金屬氧化物導(dǎo)電層靠近所述襯底基板一側(cè)的表面還原出金屬顆粒。

2.如權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板一側(cè)的表面形成一層還原金屬層，包括：

將還原劑與所述還原金屬層對應(yīng)的化合物水溶液在設(shè)定條件下反應(yīng)，將得到的溶液涂覆到所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板一側(cè)的表面，以形成所述還原金屬層。

3.如權(quán)利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述將還原劑與所述還原金屬層對應(yīng)的化合物水溶液在設(shè)定條件下反應(yīng)，包括：

將還原劑與所述金屬氫化物對應(yīng)的化合物水溶液混合，在酸性環(huán)境以及溫度為40℃～50℃的條件下反應(yīng)。

4.如權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一金屬層與所述第二金屬層采用的金屬材料相同；

所述在所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板一側(cè)的表面形成一層還原金屬層，包括：

采用還原性氣體，對所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板一側(cè)的表面進(jìn)行等離子體處理。

5.如權(quán)利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述采用還原性氣體，對所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板一側(cè)的表面進(jìn)行等離子體處理，包括：

采用H₂，NH₃，N₂H₄，H₂S，CH₄，C₂H₆或HCN中的一種或多種氣體，對所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板一側(cè)的表面進(jìn)行等離子體處理。

6.如權(quán)利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述對所述還原金屬層和所述金屬氧化物導(dǎo)電層進(jìn)行處理，以使所述還原金屬層氧化為第二金屬層，以及所述金屬氧化物導(dǎo)電層靠近所述襯底基板一側(cè)的表面還原出金屬顆粒，包括：

將形成所述金屬氧化物導(dǎo)電層的圖形之后的襯底基板加熱至60℃～100℃。

7.如權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的制作方法，其特征在于，所述在襯底基板上形成一層第一金屬層之前，還包括：

在所述襯底基板上形成阻擋金屬層。

8.如權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的制作方法，其特征在于，所述在形成所述金屬氧化物導(dǎo)電層的圖形之前，在所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板一側(cè)的表面形成一層還原金屬層，包括：

在形成所述第一金屬層之后，以及形成所述第一金屬層的圖形之前，在所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板一側(cè)的表面形成一層還原金屬層；或，

在形成所述第一金屬層的圖形之后，以及形成用于導(dǎo)通所述第一金屬層與所述金屬氧化物導(dǎo)電層的通孔之前，在所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板一側(cè)的表面形成一層還原金屬層；或，

在形成導(dǎo)通所述第一金屬層與所述金屬氧化物導(dǎo)電層的通孔之后，以及形成金屬氧化物導(dǎo)電層的圖形之前，在所述第一金屬層遠(yuǎn)離所述襯底基板一側(cè)的表面形成一層還原金屬層。

9.一種顯示面板，其特征在于，所述顯示面板由權(quán)利要求1～8任一項(xiàng)所述的顯示面板的制作方法制作而成。

10.一種顯示裝置，其特征在于，包括：權(quán)利要求9所述的顯示面板。