[發明專利]一種基板承載裝置及蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201710757002.9
• 申請日: 2017-08-29
• 公開（公告）號: CN107475680B
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 鄒清華;段廷原;姚固;朱儒暉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

本發明公開了一種基板承載裝置及蒸鍍設備，涉及顯示裝置制造技術領域，為解決現有的基板承載裝置更換粘性件用時較長的問題而發明。該基板承載裝置，包括基底和承載條，所述承載條與所述基底可拆卸連接，所述承載條的承載面上設有粘性件，在所述承載條與所述基底處于連接狀態下，與所述基底連接的所有所述承載條的承載面形成平坦表面。本發明可用于OLED等基板的承載和傳送。

技術領域

本發明涉及顯示裝置制造技術領域，尤其涉及一種基板承載裝置及蒸鍍設備。

背景技術

在顯示裝置的制造過程中，一般都需要基板承載裝置來傳送基板，比如在OLED(Organic Light-Emitting Diode有機發光二極管)顯示裝置的整個蒸鍍過程中，基板是以基板承載裝置為載體在蒸鍍設備中進行傳送的，而基板承載裝置的結構設計的是否合理，直接關系著整個蒸鍍過程的生產效率和蒸鍍設備的稼動率(一臺機器設備實際的生產數量與可能的生產數量的比值)。

現有的一種基板承載裝置，如圖1所示，包括基底01(base)，基底01的上表面上設有多個粘性件02，粘性件02一面粘貼在基底01上，另一面可通過分子間作用力與基板緊密貼合。其中，粘性件01為粘性墊，粘性墊的一面與基底01相粘接，另一面與基板(圖中未示出)相貼合，通過粘性墊與基板貼合時的分子間作用力，從而使兩者緊緊貼在一起，保證基板與基底01不分離。

然而，基板承載裝置上的粘性件02是具有壽命的，需要定期來更換，否者會影響對基板的貼合性能，尤其是當粘性件02所粘接的基板因某種原因發生破片時，基板產生的玻璃屑會落在粘性件02與基板的貼合面上，此時便需要更換粘性件02。現有的這種基板承載裝置在更換粘性件02時，需要將基底01從蒸鍍設備中取出，接著將粘性件02從基底01的上表面逐個撕下，擦拭干凈原粘接位置的殘膠，再貼附上新的粘性件02，整個更換過程時間較長，從而不利于提高生產效率和設備的稼動率。

發明內容

本發明的實施例提供一種基板承載裝置及蒸鍍設備，用以解決現有的基板承載裝置更換粘性件用時較長的問題。

為達到上述目的，本發明的實施例提供了一種基板承載裝置，包括基底和承載條，所述承載條與所述基底可拆卸連接，所述承載條的承載面上設有粘性件，在所述承載條與所述基底處于連接狀態下，與所述基底連接的所有所述承載條的承載面形成平坦表面。

進一步地，所述承載條的數目為多個，在所述承載條與所述基底處于連接狀態下，多個所述承載條的承載面相平齊。

更進一步地，所述承載條包括第一承載條和第二承載條，所述第一承載條的數目為多個，多個所述第一承載條圍成一承載區域，所述第二承載條設置于所述承載區域內。

進一步地，所述承載條通過螺紋緊固件與所述基底可拆卸連接。

進一步地，所述承載條上設有限位凸緣，所述基底上開設有限位槽，所述限位凸緣與限位槽相卡接。

進一步地，所述基底為具有鏤空開口的矩形框架結構。

進一步地，還包括固定件，所述固定件與所述基底可拆卸連接，在所述固定件與所述基底處于連接狀態下，所述固定件位于所述平坦表面遠離所述粘結件的一側，所述固定件的第一表面上固定設有磁性吸附件，所述第一表面與所述平坦表面平行。

更進一步地，所述固定件包括底架和固定條，所述底架與所述基底可拆卸連接，所述固定條與所述底架可拆卸連接，所述磁性吸附件固定于所述固定條上。

更進一步地，所述底架通過插銷結構與所述基底可拆卸連接，所述插銷結構包括開設在所述底架上的第一銷孔、開設在所述基底上的第二銷孔和銷桿，所述第一銷孔和所述第二銷孔同軸，所述銷桿插入所述第一銷孔和所述第二銷孔中，且與所述第一銷孔、所述第二銷孔過盈配合。