[發明專利]玻璃合成用流體供給裝置

有效

• 申請號: 201710756151.3
• 申請日: 2017-08-29
• 公開（公告）號: CN107795546B
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 高城充;幅崎利已
• 申請（專利權）人: 住友電氣工業株式會社
• 主分類號: F15B20/00
• 分類號: F15B20/00;F15B13/02;F15B21/08
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

提供一種玻璃合成用流體供給裝置，其在從停電等異常時進行恢復供電時等在使空氣式操作閥工作的空氣壓力低于適當范圍的情況下，也能夠抑制配管或者流量控制裝置的劣化。具有對反應容器(11)供給腐蝕性流體的腐蝕性流體供給線(L1)和在腐蝕性流體供給線(L1)設置的MFC(15)，在流過MFC(15)的腐蝕性流體的路徑中，在比MFC(15)上游側的腐蝕性流體供給線(L1)和比MFC(15)下游側的腐蝕性流體供給線(L1)分別設置有通過電磁閥(16a、16c)進行操作的空氣式操作閥(17a、17c)，空氣式操作閥(17a、17c)全部是常閉型，在比MFC(15)下游側設置的空氣式操作閥(17c)的工作壓力高于在比MFC(15)上游側設置的空氣式操作閥(17a)的工作壓力。

技術領域

本發明涉及一種玻璃合成用流體供給裝置。

背景技術

已知一種玻璃合成用流體供給裝置，其將合成玻璃時所使用的腐蝕性流體、吹掃氣體供給至玻璃合成裝置(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開2014－131946號公報

例如，專利文獻1中記載的玻璃合成用流體供給裝置，在將合成玻璃時所使用的腐蝕性流體、吹掃氣體供給至玻璃合成裝置的路徑中設置有空氣式操作閥。空氣式操作閥根據所供給的空氣壓力進行閥的開閉，在空氣壓力大于或等于工作壓力的情況下打開，在空氣壓力小于工作壓力的情況下關閉。該空氣式操作閥是常閉型(如果不作用空氣壓力，則維持關閉狀態)。

另外，常閉型的空氣式操作閥在所供給的空氣壓力與工作壓力是同等程度的情況下，由于空氣式操作閥的個體差異等原因，有可能存在多個空氣式操作閥中的僅一部分的常閉型的空氣式操作閥成為打開狀態。

因此，在所供給的空氣壓力成為低狀態的情況下，一部分的常閉型的空氣式操作閥有時不打開。例如，如果與流量控制裝置相比設置在下游的空氣式操作閥打開、設置于上游的空氣式操作閥關閉，則反應容器內、除害裝置內的氣體有可能向配管上游側逆流，發生擴散。

另一方面，對空氣式操作閥的空氣壓力的供給是通過在空氣壓力供給路徑中設置的電磁閥的開閉進行控制的。電磁閥的開閉被電氣地控制，具有下述類型，即，在停電等沒有電源供給的情況下，維持關閉狀態的常閉型和維持打開狀態的常開型。

通常，在玻璃合成用流體供給裝置中，關于在各路徑中設置的對空氣式操作閥進行控制的電磁閥，適當配置常閉型和常開型，在由于發生停電等異常而電源供給被切斷的情況下，使得在流量控制裝置前后的配管、流量控制裝置中流動吹掃氣體。但是，在從停電等異常時恢復供電時，有時使空氣式操作閥工作的空氣壓力成為低于適當范圍的狀態，此時例如如上述所示，有可能發生反應容器內、除害裝置內的氣體向配管上游側逆流、擴散等現象，配管或者流量控制裝置的劣化防止變得不充分。

發明內容

本發明的目的在于提供一種玻璃合成用流體供給裝置，該玻璃合成用流體供給裝置即使在從停電等異常時恢復供電時等、使空氣式操作閥工作的空氣壓力低于適當范圍的情況下，也能夠抑制配管或者流量控制裝置的劣化。

本發明的一個方式所涉及的玻璃合成用流體供給裝置，其具有：

腐蝕性流體供給線，其向反應容器供給腐蝕性流體；以及

流量控制裝置，其設置于所述腐蝕性流體供給線，

在流過所述流量控制裝置的所述腐蝕性流體的路徑中，在與所述流量控制裝置相比上游側的所述腐蝕性流體供給線和與所述流量控制裝置相比下游側的所述腐蝕性流體供給線，分別設置有通過電磁閥進行操作的空氣式操作閥，

所述空氣式操作閥全部是常閉型，

設置在與所述流量控制裝置相比下游側的所述空氣式操作閥，具有比設置在與所述流量控制裝置相比上游側的所述空氣式操作閥的工作壓力高的工作壓力。