[發明專利]玻璃合成用流體供給裝置

有效

• 申請號: 201710756151.3
• 申請日: 2017-08-29
• 公開（公告）號: CN107795546B
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 高城充;幅崎利已
• 申請（專利權）人: 住友電氣工業株式會社
• 主分類號: F15B20/00
• 分類號: F15B20/00;F15B13/02;F15B21/08
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

1.一種玻璃合成用流體供給裝置，其具有：

腐蝕性流體供給線，其向反應容器供給腐蝕性流體；以及

流量控制裝置，其設置于所述腐蝕性流體供給線，

在流過所述流量控制裝置的所述腐蝕性流體的路徑中，在與所述流量控制裝置相比上游側的所述腐蝕性流體供給線和與所述流量控制裝置相比下游側的所述腐蝕性流體供給線，分別設置有通過電磁閥進行操作的空氣式操作閥，

所述空氣式操作閥全部是常閉型，

設置在與所述流量控制裝置相比下游側的所述空氣式操作閥，具有比設置在與所述流量控制裝置相比上游側的所述空氣式操作閥的工作壓力高的工作壓力。

2.一種玻璃合成用流體供給裝置，其具有：

吹掃氣體供給線，其向反應容器供給吹掃氣體；以及

流量控制裝置，其設置于所述吹掃氣體供給線，

在流過所述流量控制裝置的所述吹掃氣體的路徑中，在與所述流量控制裝置相比上游側的所述吹掃氣體供給線和與所述流量控制裝置相比下游側的所述吹掃氣體供給線，分別設置有通過電磁閥進行操作的空氣式操作閥，

所述空氣式操作閥全部是常閉型，

設置在與所述流量控制裝置相比下游側的所述空氣式操作閥，具有比設置在與所述流量控制裝置相比上游側的所述空氣式操作閥的工作壓力高的工作壓力。

3.根據權利要求2所述的玻璃合成用流體供給裝置，其中，

在所述吹掃氣體供給線設置有流量節流閥。

4.一種玻璃合成用流體供給裝置，其具有：

腐蝕性流體供給線，其供給腐蝕性流體；

吹掃氣體供給線，其供給吹掃氣體；

匯流線，其是所述吹掃氣體供給線和所述腐蝕性流體供給線匯流而成的；

流量控制裝置，其設置于所述匯流線；

反應容器線，其從與所述流量控制裝置相比下游側的所述匯流線分支而朝向反應容器；以及

排放氣體線，其從與所述流量控制裝置相比下游側的所述匯流線分支而朝向除害裝置，

在所述腐蝕性流體供給線、所述吹掃氣體供給線、所述反應容器線和所述排放氣體線，分別設置有通過電磁閥進行操作的空氣式操作閥，

設置于所述吹掃氣體供給線的所述空氣式操作閥用的電磁閥和設置于所述排放氣體線的所述空氣式操作閥用的電磁閥是常開型，

設置于所述腐蝕性流體供給線的所述空氣式操作閥用的電磁閥和設置于所述反應容器線的所述空氣式操作閥用的電磁閥是常閉型，

設置于所述反應容器線的所述空氣式操作閥，具有比設置于所述腐蝕性流體供給線的所述空氣式操作閥的工作壓力高的工作壓力，

設置于所述排放氣體線的所述空氣式操作閥，具有比設置于所述吹掃氣體供給線的所述空氣式操作閥的工作壓力高的工作壓力。

5.根據權利要求4所述的玻璃合成用流體供給裝置，其中，

在所述吹掃氣體供給線設置有流量節流閥。