[發明專利]一種掩模板存儲裝置

有效

• 申請號: 201710752227.5
• 申請日: 2017-08-28
• 公開（公告）號: CN107464770B
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 任泓揚;徐湘倫
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L51/56
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種掩模板存儲裝置，其特征在于，包括

卡夾外框，包括

存儲空腔，設有兩個豎直相對的且平行的腔壁；

固定槽組，所述固定槽組上下層狀分布，所述固定槽組中的兩個固定槽對應的設于兩個腔壁上；

存放卡夾，包括

卡夾框；

卡接塊，分布于所述卡夾框的兩側；

靜電薄膜，設于所述卡夾框的底層；靜電薄層通過外接電源控制靜電的產生和釋放；

存放層，設于所述卡夾框的上層面；所述存放層包括一對相對設置的楔形結構，所述掩模板或基板存放于所述楔形結構中；

其中，當所述存放卡夾存放于所述卡夾外框時，所述卡接塊對應的卡接于所述固定槽中；所述存放層上放置有掩模板和/或基板。

2.根據權利要求1所述的掩模板存儲裝置，其特征在于，每一所述固定槽的底面設有突起的定位塊，所述卡接塊的下底面設有與所述定位塊匹配的定位槽，當所述存放卡夾存放于所述卡夾外框時，所述定位塊位于所述定位槽內。

3.根據權利要求2所述的掩模板存儲裝置，其特征在于，每一所述固定槽的所述定位塊的個數為2-4個。

4.根據權利要求2所述的掩模板存儲裝置，其特征在于，所述定位塊和所述定位槽的高度之和等于或小于所述固定槽的高度。

5.根據權利要求2所述的掩模板存儲裝置，其特征在于，所述定位塊的形狀為圓臺形。

6.根據權利要求1所述的掩模板存儲裝置，其特征在于，所述固定槽組上下等距排列。

7.根據權利要求6所述的掩模板存儲裝置，其特征在于，相鄰的兩個所述固定槽組之間的距離吻合于所述存放卡夾的高度。

8.根據權利要求1或6所述的掩模板存儲裝置，其特征在于，所述固定槽組設有8-10組。

9.根據權利要求1所述的掩模板存儲裝置，其特征在于，所述楔形結構形成的放置平面為基板放置平面或掩模板放置平面，所述基板放置平面的尺寸小于所述掩模板放置平面的尺寸。