[發明專利]一種掩模板存儲裝置

有效

• 申請號: 201710752227.5
• 申請日: 2017-08-28
• 公開（公告）號: CN107464770B
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 任泓揚;徐湘倫
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L51/56
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發明公開了一種掩模板存儲裝置，包括卡夾外框，包括存儲空腔，設有兩個豎直相對的且平行的腔壁；固定槽組，所述固定槽組上下層狀分布，所述固定槽組中的兩個固定槽對應的設于兩個腔壁上；存放卡夾，包括卡夾框；卡接塊，分布于所述卡夾框的兩側；靜電薄膜，設于所述卡夾框的底層；存放層，設于所述卡夾框的上層面；其中，當所述存放卡夾存放于所述卡夾外框時，所述卡接塊對應的卡接于所述固定槽中；所述存放層上放置有掩模板和/或基板。

技術領域

本發明涉及發光二極管顯示器制程領域，具體為一種掩模板存儲裝置。

背景技術

有機發光二極管顯示器(OLED,organic light-emitting diode)相較于液晶顯示、等離子顯示等傳統顯示技術具有自發光、視角色偏小、可以柔性化等突出優點，所以有機發光二極管顯示器已經被認為是新一代最有市場價值的平板顯示技術。在制作有機發光二極管顯示器的過程中，一般是在玻璃基板上，通過真空蒸鍍將多種有機材料以及金屬材料依次在基板的陽極上形成空穴注入層、空穴傳輸層、電子阻擋層、發光層、電子傳輸層、電子注入層以及半透明的金屬陰極層。發光層一般有紅光、綠光和藍光三種顏色，這三種發光層分別蒸鍍在不同區域。所以根據該工藝過程，定義各個層蒸鍍區域的掩模板在有機發光二極管顯示器蒸鍍制程中是重要的一環。

一般情況，在進行較長時間的蒸鍍后，掩模板下層會累積較多蒸鍍材料，尤其作為陰極的鎂銀合金等容易產生顆粒物的材料，當這些掩模板放置在掩模板存放腔體里，在機械手臂取用掩模板時，難免會有材料從掩模板上剝落下來。而一般放置掩模板的卡夾采用中空設計，掉落的材料會沾到下方的掩模板表面。這些顆粒物則會在蒸鍍過程中帶入到基板上，影響產品的良率，也會造成掩模板的變形。另外，在對新加入蒸鍍機的材料進行膜厚校正和掩模板對位調試的時候，一般需要多張基板頻繁導入導出蒸鍍機，如果機臺沒有配備基板存放腔體時，基板的導入導出會花費較多時間。因此，針對上述在蒸鍍制程中的情況，需要設計一種便捷組合防止污染的OLED的掩模板存儲裝置。

發明內容

本發明的目的是：提供一種掩模板存儲裝置，以解決現有技術中一種或以上的技術缺陷。

實現上述目的的技術方案是：一種掩模板存儲裝置，包括卡夾外框，包括存儲空腔，設有兩個豎直相對且平行的腔壁；固定槽組，所述固定槽組上下層狀分布，所述固定槽組中的兩個固定槽對應的設于兩個腔壁上；存放卡夾，包括卡夾框；卡接塊，分布于所述卡夾框的兩側；靜電薄膜，設于所述卡夾框的底層；存放層，設于所述卡夾框的上層面；其中，當所述存放卡夾存放于所述卡夾外框時，所述卡接塊對應的卡接于所述固定槽中；所述存放層上放置有掩模板和/或基板。

在本發明一較佳實施例中，每一所述固定槽的底面設有突起的定位塊，所述卡接塊的下底面設有與所述定位塊匹配的定位槽，當所述存放卡夾存放于所述卡夾外框時，所述定位塊位于所述定位槽內。

在本發明一較佳實施例中，每一所述固定槽的所述定位塊的個數為2-4個。

在本發明一較佳實施例中，所述定位塊和所述定位槽的高度之和等于或小于所述固定槽的高度。

在本發明一較佳實施例中，所述定位塊的形狀為圓臺形。

在本發明一較佳實施例中，所述固定槽組上下等距排列。

在本發明一較佳實施例中，相鄰的兩個所述固定槽組之間的距離吻合于所述存放卡夾的高度。

在本發明一較佳實施例中，所述固定槽組設有8-10組。

在本發明一較佳實施例中，所述存放層包括一對相對設置的楔形結構，所述掩模板或基板存放于所述楔形結構中。

在本發明一較佳實施例中，所述楔形結構形成的放置平面為基板放置平面或掩模板放置平面，所述基板放置平面的尺寸小于所述掩模板放置平面的尺寸。