[發(fā)明專利]偏振器、其制造方法和包括其的顯示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710740592.4
• 申請日: 2017-08-25
• 公開（公告）號: CN107783219B
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發(fā)明（設計）人: 安文貞;南重建;楊受京;白炅旼;韓康洙;樸俊龍;申相原;申鉉億
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G02B5/30
• 分類號: G02B5/30;G02F1/1335
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權代理有限公司 11286
• 代理人: 劉燦強;尹淑梅

提供了一種偏振器、其制造方法和包括其的顯示裝置。所述偏振器包括基體層和線柵層，所述線柵層設置在基體層上，并包括多個布線金屬圖案，所述多個布線金屬圖案沿第一方向延伸，并且沿與第一方向交叉的第二方向彼此間隔開，其中，線柵層由包含鎳(Ni)和鑭(La)的鋁(Al)合金制成。

本申請要求在韓國知識產(chǎn)權局提交的第10-2016-0108551號韓國專利申請的優(yōu)先權，該韓國專利申請的公開通過引用全部包含于此。

技術領域

本發(fā)明構思涉及一種偏振器、制造其的方法和包括其的顯示裝置。

背景技術

諸如液晶顯示器的顯示裝置在制造工藝中以母板(motherboard)的形式制成。母板包括多個單元(cell)，切割包括在母板中的所述多個單元，以制成一個液晶顯示裝置。在此情況下，在液晶顯示裝置中使用控制光的偏振的大量偏振器。偏振器用來將自然狀態(tài)的光轉(zhuǎn)換成單一直線狀態(tài)的偏振光。

為了在液晶顯示器中制成偏振光，已通常使用膜型偏振器。然而，近來，已經(jīng)使用包括納米尺寸的金屬布線圖案的線柵偏振器作為其替代。

可以通過在基底上沉積金屬以形成金屬層，在金屬層上形成掩模，然后使用掩模將金屬層圖案化來制造線柵偏振器。在此情況下，通常可以使用具有易于加工性和優(yōu)異的反射率的鋁。

發(fā)明內(nèi)容

然而，在制造線柵偏振器的工藝中(說明性地，在形成掩模的工藝中)，由鋁制成的金屬層會暴露于高溫環(huán)境，因此在金屬層中會出現(xiàn)作為半球形突起的小丘。

為此，存在不均勻地形成線柵偏振器的金屬布線圖案和線柵偏振器的可靠性劣化的問題。

因此，本發(fā)明構思的方面提供了一種具有改善的可靠性的偏振器和包括其的顯示裝置。

然而，本發(fā)明構思的方面不限于這里所闡述的一個方面。通過參照下面給出的本發(fā)明構思的詳細描述，本發(fā)明構思的上面的或其它方面對本發(fā)明構思所屬領域的普通技術人員而言將變得明顯。

根據(jù)本發(fā)明構思的方面，提供了一種偏振器。偏振器包括：基體層；線柵層，設置在基體層上，并包括沿第一方向延伸的多個布線金屬圖案，所述多個布線金屬圖案沿與第一方向交叉的第二方向彼此分隔開，其中，線柵層由包含鎳(Ni)和鑭(La)的鋁(Al)合金制成。

鋁(Al)合金中的鎳(Ni)的含量可以為0.01at％至0.08at％，鋁(Al)合金中的鑭(La)的含量可以為0.01at％至0.08at％。

鋁(Al)合金中的鎳(Ni)和鑭(La)的總含量為0.1at％或更小。

鋁(Al)合金中的鎳(Ni)的含量可以為0.02at％，鋁(Al)合金中的鑭(La)的含量可以為0.04at％。

鋁(Al)合金的折射率可以為0.9至1.1，鋁(Al)合金的消光系數(shù)可以為6.4或更大。

線柵層還可以包括形成在所述多個布線金屬圖案中的每個的表面上的氧化膜，氧化膜可以由鋁(Al)合金的氧化物制成。

線柵層還可以包括設置在所述多個布線金屬圖案中的每個上的硬掩模圖案。

硬掩模圖案可以包含氧化硅或氮化硅。

線柵層還可以包括形成在所述多個布線金屬圖案中的每個的側(cè)面上的氧化膜，氧化膜可以由鋁(Al)合金的氧化物制成。

根據(jù)本發(fā)明構思的方面，提供了一種制造偏振器的方法。所述方法包括：在基體層上形成金屬層；使用化學氣相沉積在金屬層上形成硬掩模層；在硬掩模層上形成抗蝕劑層；使用模具按壓抗蝕劑層，以形成抗蝕劑圖案；使用抗蝕劑圖案作為掩模來蝕刻硬掩模層；使用蝕刻了的硬掩模層作為掩模蝕來刻金屬層，其中，金屬層由包含鎳(Ni)和鑭(La)的鋁(Al)合金制成。