[發(fā)明專利]一種機械手

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710735425.0
• 申請日: 2017-08-24
• 公開（公告）號: CN107564845B
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 關(guān)立偉
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 11247 北京市中咨律師事務(wù)所
• 代理人: 劉敏;吳鵬

本發(fā)明提供一種機械手，包括：機械手臂，所述機械手臂包括用于承載基板的承載部，所述承載部位于該機械手臂的一端并沿該機械手臂的縱向延伸；設(shè)置在該機械手臂上的多個基板夾持模塊，所述基板夾持模塊包括線性引導(dǎo)機構(gòu)、基板夾持件以及驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置用于驅(qū)動所述基板夾持件沿所述線性引導(dǎo)機構(gòu)在第一位置和第二位置之間移動，在所述第一位置，所述基板夾持件夾緊所述基板，在所述第二位置所述基板夾持件松開該基板。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明總體涉及基板生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空環(huán)境下防止基板尤其是玻璃基板在其上滑動的機械手。

背景技術(shù)

市場廣泛使用的屏幕是液晶顯示器(LCD)和有機發(fā)光二極管(OLED)，而OLED主要應(yīng)用于小尺寸面板。OLED顯示包括被動矩陣有機發(fā)光二極管(PMOLED)和主動矩陣有機發(fā)光二極管(AMOLED)顯示，其中AMOLED顯示的實現(xiàn)方式有低溫多晶硅(LTPS)背板+精細(xì)金屬掩膜(FMM)方式，和氧化物背板+白光有機發(fā)光二極管+彩膜的方式。

精細(xì)金屬掩膜模式，是通過蒸鍍方式將OLED材料按照預(yù)定程序蒸鍍到LTPS背板上，利用FMM上的圖形，形成紅綠藍(lán)器件。蒸鍍是在真空腔體中進(jìn)行，通過機械手從上游取玻璃基板送入到各個腔室，蒸鍍完后再由機械手從腔室取出送往下游，真空機械手與大氣機械手不一樣，大氣機械手是通過真空吸附將玻璃基板吸附到機械手上，而真空機械手無法再采用此方式，只能靠止檔機構(gòu)擋住玻璃基板不要過度滑動而飛出破片，但此方式的缺陷是機械手只能在低速下運行，同時玻璃基板每次被送到蒸鍍腔室位置不同，加長了對位時間，若提高機械手的速度，則破片風(fēng)險大大增加。面臨緊張的產(chǎn)能問題，需要提高單件產(chǎn)品生產(chǎn)時間，提高產(chǎn)能。

為了克服傳統(tǒng)的真空機械手靠止檔機構(gòu)擋住玻璃基板不要過度滑動而飛出破片的問題，以及機械手不能過高速度移動和玻璃基板位置不定的缺陷，當(dāng)前需要提供這樣一種真空機械手，其能夠在真空環(huán)境下確保機械手高速運行時玻璃基板不滑動。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種新型的機械手，其能夠夾緊所承載的基板例如玻璃基板，從而在機械手的高速運行過程中，使得基板不會滑動，降低了單件產(chǎn)品生產(chǎn)時間。

因此，本發(fā)明提供一種機械手，機械手臂，所述機械手臂包括用于承載基板的承載部，所述承載部位于該機械手臂的一端并沿該機械手臂的縱向延伸；設(shè)置在該機械手臂上的多個基板夾持模塊，所述基板夾持模塊包括線性引導(dǎo)機構(gòu)、基板夾持件以及驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置用于驅(qū)動所述基板夾持件沿所述線性引導(dǎo)機構(gòu)在第一位置和第二位置之間移動，在所述第一位置，所述基板夾持件夾緊所述基板，在所述第二位置所述基板夾持件松開該基板。與傳統(tǒng)的機械手相比，根據(jù)本發(fā)明的機械手能夠通過基板夾持件的移動夾緊或松開基板，尤其是玻璃基板，在夾緊狀態(tài)下，當(dāng)機械手在真空環(huán)境下高速運行時，防止基板發(fā)生滑動，并且例如在將基板送入蒸鍍室時，能夠保證送到蒸鍍室內(nèi)的相同位置，有利于對位，降低對位之間，從而降低單件產(chǎn)品生產(chǎn)時間。

根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選方案，所述承載部由所述機械手臂的一部分構(gòu)成，所述線性引導(dǎo)機構(gòu)包括從所述承載部的橫向兩側(cè)相反地延伸出的多個線性導(dǎo)軌，每個線性導(dǎo)軌的遠(yuǎn)離所述承載部的一端設(shè)有所述基板夾持件，所述驅(qū)動裝置包括設(shè)置在所述線性導(dǎo)軌上的電磁模塊，并且所述電磁模塊位于相應(yīng)的基板夾持件的遠(yuǎn)離所述承載部的一側(cè)并通過彈簧與該基板夾持件連接。在該方案中，通過采用電磁鐵原理，通過對電磁模塊通電和斷電，來實現(xiàn)電磁模塊對基板夾持件施加磁力或不施加磁力。

在一個有利的方案中，所述機械手臂包括兩個機械手臂，在所述承載部的橫向兩側(cè)的線性導(dǎo)軌的數(shù)目相同，并且每個所述線性導(dǎo)軌上均設(shè)有所述電磁模塊。并且，優(yōu)選位于承載部的橫向兩側(cè)的線性導(dǎo)軌關(guān)于所述承載部對稱。如此配置，基板夾持模塊能夠更穩(wěn)固地夾緊基板。

在一個更有利地方案中，為了更穩(wěn)定地夾持基板，尤其是玻璃基板，在所述承載部的縱向兩側(cè)也設(shè)有通過彈簧相互連接的基板夾持件和電磁模塊。這里的基板夾持件和電磁模塊與設(shè)置在線性導(dǎo)軌上的基板夾持件和電磁模塊相同。