[發(fā)明專(zhuān)利]一種機(jī)械手

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710735425.0
• 申請(qǐng)日: 2017-08-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107564845B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 關(guān)立偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 11247 北京市中咨律師事務(wù)所
• 代理人: 劉敏;吳鵬

1.一種在真空環(huán)境下防止基板在其上滑動(dòng)的機(jī)械手，包括：

機(jī)械手臂，所述機(jī)械手臂包括用于承載基板的承載部，所述承載部位于該機(jī)械手臂的一端并沿該機(jī)械手臂的縱向延伸；

設(shè)置在該機(jī)械手臂上的多個(gè)基板夾持模塊，所述基板夾持模塊包括線性引導(dǎo)機(jī)構(gòu)、基板夾持件以及驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述基板夾持件沿所述線性引導(dǎo)機(jī)構(gòu)在第一位置和第二位置之間移動(dòng)，在所述第一位置，所述基板夾持件夾緊所述基板，在所述第二位置所述基板夾持件松開(kāi)該基板；

所述承載部由所述機(jī)械手臂的一部分構(gòu)成，所述線性引導(dǎo)機(jī)構(gòu)包括從所述承載部的橫向兩側(cè)相反地延伸出的多個(gè)線性導(dǎo)軌，每個(gè)線性導(dǎo)軌的遠(yuǎn)離所述承載部的一端設(shè)有所述基板夾持件，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括設(shè)置在所述線性導(dǎo)軌上的電磁模塊，并且所述電磁模塊位于相應(yīng)的基板夾持件的遠(yuǎn)離所述承載部的一側(cè)并通過(guò)彈簧與該基板夾持件連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手，其中，所述機(jī)械手臂包括兩個(gè)機(jī)械手臂，在所述承載部的橫向兩側(cè)的線性導(dǎo)軌的數(shù)目相同，并且每個(gè)所述線性導(dǎo)軌上均設(shè)有所述電磁模塊。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手，其中，在所述承載部的縱向兩端設(shè)有通過(guò)彈簧彼此相互連接的基板夾持件和電磁模塊。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的機(jī)械手，其中，該基板夾持件包括接觸基板的第一部分和靠近該電磁模塊的第二部分，其中該第一部分的材料包含聚醚醚酮材料，該第二部分的材料包含磁性材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機(jī)械手，其中，該第一部分構(gòu)造為L(zhǎng)形結(jié)構(gòu)，所述磁性材料為鐵磁性材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手，其中，還包括從所述承載部的橫向兩側(cè)相反地延伸出的多個(gè)分支部，所述基板夾持件設(shè)置在每個(gè)所述分支部的遠(yuǎn)離所述承載部的一端，所述線性引導(dǎo)機(jī)構(gòu)為沿著位于所述承載部至少一側(cè)的每個(gè)所述分支部設(shè)置的絲杠-絲母?jìng)鲃?dòng)機(jī)構(gòu)，所述基板夾持件連接到所述絲母，該驅(qū)動(dòng)裝置為設(shè)置在所述承載部附近的電機(jī)，用于驅(qū)動(dòng)所述絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)絲母沿絲杠直線運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)該基板夾持件沿該絲杠線性移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手，其中，所述基板夾持件構(gòu)造成設(shè)置在每個(gè)所述分支部遠(yuǎn)端的滑塊，所述絲杠設(shè)置在該滑塊的底部，通過(guò)所述絲母使所述滑塊沿絲杠線性移動(dòng)，通過(guò)所述電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)滑塊對(duì)基板的夾緊和松開(kāi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手，其中，在所述承載部的縱向兩端基板夾持件和絲杠-絲母?jìng)鲃?dòng)機(jī)構(gòu)，該基板夾持件通過(guò)所述絲杠-絲母?jìng)鲃?dòng)機(jī)構(gòu)聯(lián)接到所述電機(jī)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的機(jī)械手，其中，所述滑塊構(gòu)造成L形結(jié)構(gòu)并且包含聚醚醚酮材料或由聚醚醚酮材料制成。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手，其中，所述基板夾持件構(gòu)造成具有彈簧扭力的彈性件，并且通過(guò)所述電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制所述彈性件的扭矩，從而實(shí)現(xiàn)所述彈性件對(duì)所述基板的夾緊和松開(kāi)。