[發明專利]極紫外光微影設備、標靶材料供應系統與方法

有效

• 申請號: 201710735382.6
• 申請日: 2017-08-24
• 公開（公告）號: CN109426084B
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 賴韋志;鄭力凱;張漢龍;劉柏村;陳立銳
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 馮志云;王芝艷

1.一種標靶材料供應系統，包括：

一標靶液滴產生器，配置以產生多個標靶液滴，該些標靶液滴供一極紫外光微影設備利用以產生一極紫外光，其中該標靶液滴產生器具有一液滴儲存槽；

一標靶液滴收集器，配置以收集該些標靶液滴的未被利用部分；以及

一標靶材料處理裝置，配置以將一熔融狀態的一標靶材料供應至該標靶液滴產生器，及配置以將從該標靶液滴收集器回收的該些標靶液滴的該些未被利用部分重新供應至該標靶液滴產生器，其中，該標靶材料處理裝置包括：

一儲存槽，具有一開口，該開口允許一固態的標靶材料進入該儲存槽，且該儲存槽配置以儲存由該固態的標靶材料所轉變的該熔融狀態的標靶材料，及儲存從該標靶液滴收集器回收的該些標靶液滴的該些未被利用部分；

至少一第一加熱器，熱耦合于該儲存槽，用以加熱該儲存槽以使得該固態的標靶材料轉變呈該熔融狀態的標靶材料，及使得該些標靶液滴的該些未被利用部分保持于該熔融狀態；

一第一連接管，耦合該儲存槽及該標靶液滴產生器的該液滴儲存槽；

一第一閥，裝設于該第一連接管上，用以控制該儲存槽及該標靶液滴產生器的該液滴儲存槽之間的連通；以及

一第一壓力控制器，配置以控制該儲存槽的壓力及將該熔融狀態的標靶材料及該些標靶液滴的該些未被利用部分輸送至該標靶液滴產生器的該液滴儲存槽。

2.如權利要求1所述的標靶材料供應系統，其中該至少一第一加熱器還熱耦合于該第一連接管。

3.如權利要求1所述的標靶材料供應系統，其中該標靶材料處理裝置更包括一第一過濾器，設置于該儲存槽或該第一連接管中。

4.如權利要求3所述的標靶材料供應系統，其中該標靶液滴收集器包括一收集槽、一第二連接管及至少一第二加熱器，該收集槽配置以收集該些標靶液滴的該些未被利用部分，該第二連接管流體地耦合該收集槽及該標靶材料處理裝置的該儲存槽，且該至少一第二加熱器熱耦合于該收集槽及該第二連接管，用以加熱且保持該些標靶液滴的該些未被利用部分于該熔融狀態。

5.如權利要求4所述的標靶材料供應系統，其中該標靶液滴收集器更包括一第二壓力控制器，配置以控制該收集槽的壓力及將該些標靶液滴的該些未被利用部分輸送至該標靶材料處理裝置的該儲存槽。

6.如權利要求4所述的標靶材料供應系統，其中該標靶液滴收集器更包括一第二過濾器，設置于該收集槽或該第二連接管中。

7.如權利要求6所述的標靶材料供應系統，其中該第一過濾器與該第二過濾器的孔洞大小不相同。