[發明專利]一套分子泵葉盤

有效

• 申請號: 201710732576.0
• 申請日: 2017-08-18
• 公開（公告）號: CN109404335B
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 楊建康
• 申請（專利權）人: 楊建康
• 主分類號: F04D29/28
• 分類號: F04D29/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

發明名稱：一套分子泵葉盤所屬技術領域：本發明是一種真空泵葉片的設計方法。傳統分子泵葉片和電風扇葉片相似，葉片越長排風效果越好，同時葉片強度變差，易斷裂。本發明用打上孔的動盤和挖了槽的靜盤代替葉片。這個設計降低了加工成本，減小了葉片熱變形，加強了結構強度，提高了抽氣效果。解決的技術問題：超大口徑分子泵設計難題技術要點和用途：動盤上的孔和靜盤上槽在尺寸、數量、位置上都有要求。動靜盤配套使用才能發揮真空抽氣效果。依托本設計可以制造出更大口徑、更大抽速的分子泵。

技術領域

本發明是一種真空泵葉片的設計方法。傳統分子泵葉片和電風扇葉片相似，葉片越長排風效果越好，同時葉片強度變差，易斷裂。本發明用打上孔的動盤和挖了槽的靜盤代替葉片。這個設計降低了加工成本，減小了葉片熱變形，加強了結構強度，提高了抽氣效果。

背景技術

真空鍍膜機的尺寸越做越大，相應的給真空鍍膜機抽氣的渦輪分子泵也越來越大。現有的大口徑分子泵口徑最大400毫米，葉片尺寸長，結構強度低，易變形引發碎泵事故。本發明用帶透孔的平盤代替分子泵動片，用盤面上加工有半封閉凹槽的平盤代替分子泵靜片。動盤、靜盤在極小距離內高速相互運動，靜盤凹槽在與動盤透孔重合時，靜盤凹槽內氣體壓強低，氣體分子會通過動盤盤面上的透孔向下層運動，達到真空除氣的目的。

發明內容

動盤在上，靜盤在下，材料均為鋁合金。動盤上分布著規則的透孔，透孔由里到外連成一條一條的斜線段，線段方向與水平軸成一定的夾角。靜盤上的凹槽為半封閉結構，只有上面開口。靜盤凹槽的中線與動盤透孔連成的斜線段長度相等，方向相反。

附圖說明

附圖1為動盤結構圖，材質鋁合金。動盤面上小孔起氣體通道作用，同時也增加了動盤表面積，增進對空氣分子能量傳輸效果。

附圖2為靜盤結構圖，材質鋁合金。靜盤表面加工有半封閉凹槽，此凹槽只有上口開放，工作時起到微型真空泵的作用，同時也是氣體分子通道。靜盤外圈還有一端打孔的環形槽，也是氣體分子通道。

附圖3為工作原理圖，動盤于上，靜盤在下。盤面上的箭頭分別表明各自旋轉方向。兩段黑箭頭表示氣路走向。

具體實施方式

動靜盤在相距不到一毫米的距離內相對運動，轉速高達幾萬轉。夾在動靜盤之間的空氣分子與動靜盤表面碰撞、摩擦，葉盤就把自己的動能傳遞給空氣分子。接受了動能的空氣分子向外散射，動靜盤之間氣體壓強變低。位于動盤上表面的空間氣體壓強高于動靜盤之間氣體壓強，動盤上層空間氣體就會穿過動盤面上透孔向下運動。如此，被抽出的氣體運動路線由真空室被吸到動盤上表面，進而穿過動盤上的透孔進入動靜盤之間空隙，接受動靜盤賦予的能量向外散射，然后聚集于靜盤邊緣的環形槽內，最后從環形槽一端的透孔向下進入下一級壓縮。此設計的好處在于動盤結構強度好，受熱變形小。動盤和靜盤很平，有利于減小它們之間的安裝間隙，更好的利用固體表面對空氣分子的拖帶作用。改善分子泵除氣效果。