[發明專利]一套分子泵葉盤

有效

• 申請號: 201710732576.0
• 申請日: 2017-08-18
• 公開（公告）號: CN109404335B
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 楊建康
• 申請（專利權）人: 楊建康
• 主分類號: F04D29/28
• 分類號: F04D29/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一套分子泵葉盤，包括代替分子泵動片的動盤和代替分子泵靜片的靜盤，其特征在于，所述動盤為盤面上帶透孔的平盤，所述靜盤是盤面上加工有半封閉凹槽和環形槽的平盤，所述半封閉凹槽處于靜盤盤面內圈且只有上口開放，所述環形槽處于靜盤盤面外圈且在環形槽一端打有通孔，所述動盤上的透孔與靜盤上的半封閉凹槽分布范圍相對應，動盤、靜盤在相距不到一毫米的距離內高速相互運動使動、靜盤之間的空氣分子甩到靜盤外圈的環形槽內并從環形槽一端打有的通孔向下層導出，靜盤盤面上的半封閉凹槽在與動盤盤面上的透孔重合時，由于半封閉凹槽內氣體壓強低，在氣體壓強差的作用下氣體分子會通過動盤盤面上的透孔向下層運動，空氣分子在葉盤間的定向移動達到為真空室真空除氣的目的。

2.根據權利要1所述的一套分子泵葉盤，其特征在于，所述動盤上的透孔有規則分布，透孔由里到外連成一條一條的斜線段，所述靜盤上的半封閉凹槽內的縱向中心線與動盤上的透孔連成的斜線段長度相等且偏轉方向相反。