[發明專利]管理系統以及管理方法

有效

• 申請號: 201710731766.0
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN107765656B
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發明（設計）人: 早坂昇;山田哲也;古谷·托馬斯·憲二
• 申請（專利權）人: 東和株式會社
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

一種管理系統以及管理方法，提供用于實現以下新方法的新結構：能夠有效使用提供以往被認為不理想的非正品的第三方來對半導體制造裝置的顧客提供新的價值。管理系統包括：管理裝置，其發布一個或多個識別信息，并且對表示所發布的各識別信息的狀態的狀態信息進行管理；附加單元，其對可換構件附加所發布的識別信息，該可換構件用于在半導體制造裝置中使用，該可換構件是按照從第一主體提供的設計信息而制作出的，該第一主體對管理裝置進行管理；以及認證單元，其讀取附加于可換構件的識別信息，并且基于通過參照來自管理裝置的狀態信息來獲取到的所讀取出的該識別信息的狀態，來決定是否允許在半導體制造裝置中使用可換構件。

技術領域

本發明涉及一種包括半導體制造裝置的管理系統以及對半導體制造裝置中使用的可換構件進行管理的管理方法。

背景技術

一般來說，在半導體制造裝置中，根據品種、制造條件等，選擇性地安裝各種可換構件(例如成形模具、輸送套件等)。這種可換構件也是消耗品，需要適當地對使用歷史等進行管理。

作為與這種可換構件的管理方法有關的技術，例如，日本特開2003-001340號公報公開了如下結構：在使用者要登記所購買的模具的模具信息時，經由網絡將使用者側與模具的銷售源連接，使用所購買的模具的ID來訪問銷售源，由此使銷售源處保存的該模具的模具信息傳輸至使用者側來登記該模具信息。通過采用這種結構，起到以下效果：不再需要使用者原本在每次購買模具時需要進行的麻煩的模具信息的輸入，因此能夠減少在進行繁雜的數據輸入時產生的輸入操作失誤，并且能夠使在使用者側的模具管理系統所包括的各裝置之間進行交換的模具信息單一化，而且，能夠驗證銷售源所供給的模具與送到使用者手里的模具是否完全一致。

這樣，隨著信息通信技術的進步，配置有半導體制造裝置等的制造現場也正在開展網絡化。

關于半導體制造裝置中使用的成形模具、輸送套件之類的可換構件，有時并非是由半導體制造裝置的制造商或其關聯公司提供的所謂的正品，存在第三方制作和銷售對該正品的可換構件進行復制所得到的非正品的行為。這種非正品無法反映在制作正品時使用的設計信息等，因此無法維持與正品同樣的質量，有時會產生不良品或者使半導體制造裝置本身產生某種不良狀況。

發明內容

本發明的目的在于提供如下一種結構：即使是除半導體制造裝置的制造商或者其關聯公司以外的第三方所提供的可換構件，也能夠使用網絡技術等來將其質量維持為固定。

按照本發明的某方面，提供一種包括半導體制造裝置的管理系統。管理系統包括：管理裝置，其發布一個或多個識別信息，并且對表示所發布的各識別信息的狀態的狀態信息進行管理；附加單元，其對可換構件附加所發布的識別信息，該可換構件用于在半導體制造裝置中使用，該可換構件是按照從第一主體提供的設計信息而制作出的，該第一主體對管理裝置進行管理；以及認證單元，其讀取附加于可換構件的識別信息，并且基于通過參照來自管理裝置的狀態信息來獲取到的所讀取出的該識別信息的狀態，來決定是否允許在半導體制造裝置中使用可換構件。

優選的是，根據第一主體與對可換構件附加識別信息的第二主體之間的關系，來決定是否能夠對該第二主體發布識別信息或者對該第二主體發布的識別信息的狀態。

優選的是，認證單元當決定了不允許在半導體制造裝置中使用可換構件時，執行以下動作中的至少一個：停止半導體制造裝置的動作；在半導體制造裝置中顯示警告消息；以及向管理裝置發送與被決定為不允許使用的可換構件有關的信息。

優選的是，認證單元經由網絡來與管理裝置之間交換數據，由此獲取所讀取出的識別信息的狀態信息。

優選的是，認證單元通過參照存儲單元來獲取保存在管理裝置中的與所讀取出的識別信息對應的狀態信息，該存儲單元保存由管理裝置管理的狀態信息的至少一部分的復制件。