[發(fā)明專(zhuān)利]管理系統(tǒng)以及管理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710731766.0
• 申請(qǐng)日: 2017-08-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107765656B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 早坂昇;山田哲也;古谷·托馬斯·憲二
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東和株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G05B19/418
• 分類(lèi)號(hào): G05B19/418
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種管理系統(tǒng)，包括半導(dǎo)體制造裝置，該管理系統(tǒng)具備：

管理裝置，其發(fā)布一個(gè)或多個(gè)識(shí)別信息，并且對(duì)表示所發(fā)布的各識(shí)別信息的狀態(tài)的狀態(tài)信息進(jìn)行管理；

附加單元，其對(duì)可換構(gòu)件附加所發(fā)布的識(shí)別信息，該可換構(gòu)件用于在所述半導(dǎo)體制造裝置中使用，該可換構(gòu)件是由供給主體按照從管理主體提供的設(shè)計(jì)信息而制作出的，該管理主體對(duì)所述管理裝置進(jìn)行管理；以及

認(rèn)證單元，其讀取附加于所述可換構(gòu)件的識(shí)別信息，并且基于通過(guò)參照來(lái)自所述管理裝置的所述狀態(tài)信息來(lái)獲取到的所讀取出的該識(shí)別信息的狀態(tài)，來(lái)決定是否在使用主體處允許在所述半導(dǎo)體制造裝置中使用所述可換構(gòu)件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管理系統(tǒng)，其特征在于，

根據(jù)所述管理主體與對(duì)所述可換構(gòu)件附加所述識(shí)別信息的所述供給主體之間的關(guān)系，來(lái)決定是否能夠?qū)υ摴┙o主體發(fā)布識(shí)別信息或者對(duì)該供給主體發(fā)布的識(shí)別信息的狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管理系統(tǒng)，其特征在于，

所述認(rèn)證單元當(dāng)決定了不允許在所述半導(dǎo)體制造裝置中使用所述可換構(gòu)件時(shí)，執(zhí)行以下動(dòng)作中的至少一個(gè)：停止所述半導(dǎo)體制造裝置的動(dòng)作；在所述半導(dǎo)體制造裝置中顯示警告消息；以及向所述管理裝置發(fā)送與被決定為不允許使用的所述可換構(gòu)件有關(guān)的信息。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的管理系統(tǒng)，其特征在于，

所述認(rèn)證單元經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)來(lái)與所述管理裝置之間交換數(shù)據(jù)，由此獲取所讀取出的所述識(shí)別信息的狀態(tài)信息。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的管理系統(tǒng)，其特征在于，

所述認(rèn)證單元通過(guò)參照存儲(chǔ)單元來(lái)獲取保存在所述管理裝置中的與所讀取出的所述識(shí)別信息對(duì)應(yīng)的狀態(tài)信息，該存儲(chǔ)單元保存由所述管理裝置管理的狀態(tài)信息的至少一部分的復(fù)制件。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的管理系統(tǒng)，其特征在于，

所述附加單元將通過(guò)電鑄加工來(lái)在表面形成有表示所發(fā)布的所述識(shí)別信息的圖案的構(gòu)件安裝于所述可換構(gòu)件，

所述認(rèn)證單元包括以光學(xué)方式讀取形成于所述可換構(gòu)件的圖案并且根據(jù)以光學(xué)方式讀取出的圖案來(lái)確定識(shí)別信息的單元。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的管理系統(tǒng)，其特征在于，

所述認(rèn)證單元包括：

受光部，其接收來(lái)自形成于所述可換構(gòu)件的圖案的光；以及

光學(xué)構(gòu)件，其根據(jù)所述可換構(gòu)件在所述半導(dǎo)體制造裝置中的使用位置，來(lái)使從所述可換構(gòu)件的圖案到所述受光部為止的光學(xué)路徑彎折。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的管理系統(tǒng)，其特征在于，

還具備收集發(fā)送單元，該收集發(fā)送單元收集與使用所述可換構(gòu)件的所述半導(dǎo)體制造裝置的使用歷史有關(guān)的信息，將該信息發(fā)送到所述管理裝置，

所述管理裝置基于與所述半導(dǎo)體制造裝置的使用歷史有關(guān)的信息，來(lái)更新與該半導(dǎo)體制造裝置中使用的可換構(gòu)件相對(duì)應(yīng)的識(shí)別信息的狀態(tài)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的管理系統(tǒng)，其特征在于，

所述可換構(gòu)件包括與由所述半導(dǎo)體制造裝置制造的品種相應(yīng)地準(zhǔn)備的成形模具和輸送套件中的至少一方。

10.一種管理方法，對(duì)在半導(dǎo)體制造裝置中使用的可換構(gòu)件進(jìn)行管理，該管理方法具備以下步驟：

發(fā)布一個(gè)或多個(gè)識(shí)別信息；

對(duì)表示所發(fā)布的各識(shí)別信息的狀態(tài)的狀態(tài)信息進(jìn)行管理；

對(duì)可換構(gòu)件附加所發(fā)布的識(shí)別信息，該可換構(gòu)件用于在所述半導(dǎo)體制造裝置中使用，是由供給主體按照從管理主體提供的設(shè)計(jì)信息而制作出的，該管理主體對(duì)所述狀態(tài)信息進(jìn)行管理；以及

讀取附加于所述可換構(gòu)件的識(shí)別信息，并且基于通過(guò)參照所述狀態(tài)信息來(lái)獲取到的所讀取出的該識(shí)別信息的狀態(tài)，來(lái)決定是否在使用主體處允許在所述半導(dǎo)體制造裝置中使用所述可換構(gòu)件。