[發明專利]振子及制造方法、壓電致動器及電機、機器人及輸送裝置有效
| 申請號： | 201710729237.7 | 申請日： | 2017-08-23 |
| 公開（公告）號： | CN107800324B | 公開（公告）日： | 2022-03-08 |
| 發明（設計）人： | 荒川豊;古谷昇;小西晃雄 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | H02N2/00 | 分類號： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 張永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 方法 壓電 致動器 電機 機器人 輸送 裝置 | ||
1.一種振子，其特征在于，具有：
振動部，具備一對振動基板以及配置在所述一對振動基板之間的壓電體；
支承部，具備一對支承基板以及配置在所述一對支承基板之間的基板間部；以及
布線，配置于所述振動部和所述支承部，
所述布線從所述支承部露出，
所述支承部在表面具有開口的凹部，所述布線在所述凹部中露出，
所述振子具有與所述布線的所露出的部分接觸的導電部，
所述導電部從所述支承部突出配置，
所述布線在所述支承部的側面，與布線基板連接，
所述振子具有：
第一基板，包括一個所述振動基板及一個所述支承基板；
第二基板，包括另一個所述振動基板及另一個所述支承基板；
所述布線具有：
第一布線，配置于所述第一基板；以及
第二布線，配置于在所述第二基板。
2.根據權利要求1所述的振子，其特征在于，
在所述一對振動基板之間，具有沿所述一對振動基板重疊的方向層疊的多個所述壓電體。
3.一種壓電致動器，其特征在于，具有：
權利要求1至2中任一項所述的振子；以及
在所述振子中配置的凸部。
4.根據權利要求3所述的壓電致動器，其特征在于，
所述壓電致動器具有多個所述振子，多個所述振子層疊。
5.根據權利要求3或4所述的壓電致動器，其特征在于，
在所述支承部中具有與所述布線電連接的電路部件。
7.一種機器人，其特征在于，
具備權利要求1至2中任一項所述的振子。
8.一種電子部件輸送裝置，其特征在于，
具備權利要求1至2中任一項所述的振子。
9.一種振子的制造方法，其特征在于，包括：
準備振子的工序，所述振子具有振動部、支承部和布線，所述振動部具備一對振動基板以及配置在所述一對振動基板之間的壓電體，所述支承部具備一對支承基板以及配置在所述一對支承基板之間的基板間部，所述布線配置于所述振動部和所述支承部，并具有從所述支承部向外部露出的露出部，所述支承部在表面具有開口的凹部，所述布線在所述凹部中露出，所述振子具有與所述布線的所露出的部分接觸的導電部，所述導電部從所述支承部突出配置，所述布線在所述支承部的側面，與布線基板連接；所述振子具有：第一基板，包括一個所述振動基板及一個所述支承基板；第二基板，包括另一個所述振動基板及另一個所述支承基板；所述布線具有：第一布線，配置于所述第一基板；以及第二布線，配置于在所述第二基板；以及
通過鍍覆法形成與所述露出部接觸的導電部的工序。
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