[發明專利]一種金屬鋰蒸發裝置、蒸鍍設備及金屬鋰蒸發方法

有效

• 申請號: 201710728956.7
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN107523793B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 胡長奇;郭書鵬;王夢帝
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/14
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

本發明涉及蒸鍍技術領域，公開了一種金屬鋰蒸發裝置、蒸鍍設備及金屬鋰蒸發方法，該金屬鋰蒸發裝置中包括：開孔組件，開孔組件包括針體支撐板、安裝于針體支撐板且與蒸發孔一一對應的開孔針；當針體支撐板處于第一工位時，每一個開孔針穿過對應的蒸發孔伸入至蒸發坩堝內以插入至蒸發坩堝內的金屬鋰內，當針體支撐板處于第二工位時，每一個開孔針自蒸發坩堝內脫離；用于驅動針體支撐板動作的第一驅動組件。開孔針插入鋰塊形成多個開孔，將開孔露出的新的表面作為蒸發表面，改善了鋰塊被氧化或氮化造成金屬鋰蒸發困難的狀況，且鋰塊開孔露出的新的表面在正常的工藝溫度下蒸發出穩定速率的金屬鋰，節約升溫時間，提高了金屬鋰蒸發的均勻性。

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域，特別涉及一種金屬鋰蒸發裝置、蒸鍍設備及金屬鋰蒸發方法。

背景技術

當代在顯示領域中OLED顯示屏應用廣泛，且應用前景良好，OLED發光原理為:施加一正向偏壓，空穴和電子克服界面能障后，由陰極和陽極注入，穿過功能層，電子和空穴在有發光特性的有機物質內結合形成激子，此激子態不穩定，當激子返回到基態時，形成退激發光。OLED是有多種功能層堆疊組成的發光器件，目前OLED的主要制作工藝是蒸鍍技術，為改善載流子的注入、傳輸能力，發光效率、器件壽命等特性，OLED器件多采用串聯結構(CGL層)，其中CGL層不可缺少金屬鋰。但是，傳統的金屬鋰的填料方法存在很大不足，從材料的制備、填料、腔室關閉、抽真空至腔室內真空度達到工藝要求這段過程中，金屬鋰一直裸露在空氣中，使得金屬鋰被氧化、氮化等，金屬鋰表面的氧化層或氮化層會阻止金屬鋰的蒸發，當前采用高溫爆沖的方法，但該方法耗時很長(約10個小時)，并且蒸發極不均勻，使制備出來的OLED器件的壽命、效率、亮度等存在很大缺陷。

發明內容

本發明提供了一種金屬鋰蒸發裝置、蒸鍍設備及金屬鋰蒸發方法，該金屬蒸鍍裝置中，通過開孔針插入鋰塊，在鋰塊上形成多個開孔，將開孔露出的新的表面作為蒸發表面，改善了鋰塊因在空氣中放置太久表面被氧化或氮化造成金屬鋰蒸發困難的狀況，使金屬鋰容易蒸發，且鋰塊開孔露出的新的表面在正常的工藝溫度下蒸發出穩定速率的金屬鋰，既節約升溫時間，又提高了金屬鋰蒸發的均勻性，進而有效的緩解了當前金屬鋰的蒸發工藝造成的器件效率、電壓、壽命等指標不均勻的情況。

為達到上述目的，本發明提供以下技術方案：

一種金屬鋰蒸發裝置，包括：

真空腔殼體；

安裝于所述真空腔殼體內的蒸發坩堝，所述蒸發坩堝包括堝體和用于蓋合所述堝體的蓋體，所述蓋體上設有多個蒸發孔；

開孔組件，所述開孔組件包括針體支撐板、安裝于所述針體支撐板且與所述蒸發孔一一對應的開孔針；當所述針體支撐板處于第一工位時，每一個所述開孔針穿過對應的蒸發孔伸入至所述蒸發坩堝內以插入至所述蒸發坩堝內的金屬鋰內，當所述針體支撐板處于第二工位時，每一個所述開孔針自所述蒸發坩堝內脫離；

用于驅動所述針體支撐板動作的第一驅動組件。

上述金屬鋰蒸發裝置中，將塊狀金屬鋰放置在蒸發坩堝內，蓋體蓋合堝體，且蓋體上有多個蒸發孔，給鋰塊開孔時，開孔組件的針體支撐板與蓋體相對，每一個開孔針與蒸發孔一一對齊，第一驅動組件驅動針體支撐板朝向蓋體的方向移動至第一工位，即每一個開孔針貫穿對應的蒸發孔伸入蒸發坩堝內并插入鋰塊內一定深度，然后第一驅動組件驅動針體支撐板朝遠離蒸發坩堝的方向移動至第二工位，使針體在鋰塊內抽離并從蒸發坩堝內脫離，則，鋰塊上形成了與蒸發孔一一對應的開孔。

因此，上述金屬鋰蒸發裝置中，通過開孔針插入鋰塊，在鋰塊上形成多個開孔，將開孔露出的新的表面作為蒸發表面，改善了鋰塊因在空氣中放置太久表面被氧化或氮化造成金屬鋰蒸發困難的狀況，使金屬鋰容易蒸發，且鋰塊開孔露出的新的表面在正常的工藝溫度下蒸發出穩定速率的金屬鋰，既節約升溫時間，又提高了金屬鋰蒸發的均勻性，進而有效的緩解了當前金屬鋰的蒸發工藝造成的器件效率、電壓、壽命等指標不均勻的情況。